[发明专利]电子电路的光学检测设备

说明书

技术领域

本发明总体涉及光学检测系统，且更具体地涉及用于在线分析电子电路的系统。本发明更具体地涉及配备有数字摄像机的系统。

背景技术

作为示例，图1示意性地示出作为示例的本发明所适用的类型的设备。例如由印刷电路板ICC支撑的电子电路IC放置在例如在线光学检测设备的传送带1上。这样的设备包括数字摄像机系统2，该系统2连接到图像处理计算机系统3。传送带1能够在平面XY(大体水平)中移动，对于一连串照片而言，只能够沿所述两个方向中的一个方向即方向X移动。

为了降低处理成本，通常希望通过对图像进行数字处理来弥补这些图像的有限质量。具体而言，已提供了通过拍摄在平面的两个方向上彼此略微偏移的若干图像以及通过实施所谓的超分辨率技术来弥补相机分辨率低。

例如，文献WO2009/090633描述了利用若干数字摄像机的阵列网络的检测设备，所述检测设备与拍摄对象相对放置以实施超分辨率技术。为了通过这样的系统来提高平面的两个方向中的图像分辨率，必须使用摄像机网络，且该摄像机网络沿着平面的两个方向移动或者沿着相对于传送方向倾斜的方向移动。由于需要驱动电机的准确性高，这使得此系统机制复杂并且增大其成本。

一些光学检测系统的另一目的是获得三维图像。像上述文献中描述的设备不适于重建三维图象。

期望具有用于通过图像处理来分析集成电路类型的对象的设备，其允许比传统系统使用较少数量的摄像机，而不损失分辨率。

还期望具有适于三维分析的设备。

还期望具有与已知解决方案相比而成本低的系统。

发明内容

本发明的实施方式的目的是提供一种通过图像分析来检测的设备，其解决了已知方法和已知设备的所有或部分缺点。

根据第一方面，本发明的实施方式的目的是提供特别适用于在线处理且简化移位的解决方案。

根据此第一方面，本发明的另一实施方式的另一目的是提供一种用于二维分析的特别简单的解决方案。

根据第二方面，本发明的实施方式的目的是提供一种适于获得三维图象的解决方案。

实施方式的另一目的是提供与两个方面相容的解决方案。

为了实现所有或部分这些或其他目的，本发明提供了一种集成电路等的光学检测设备，所述设备包括：

平面传送带，所述平面传送带沿着待分析的对象的第一方向；

拍摄系统，所述拍摄系统位于所述传送带的区域的上面并且相对于所述传送带位于固定位置中，所述拍摄系统包括至少第一组数字摄像机，每一数字摄像机包括正交阵列的像素，所述摄像机沿着与所述第一方向不同的第二方向对齐，所述摄像机全部被定向成它们的像素阵列的正交方向中的一个方向与所述第一方向形成第一角度。

根据本发明的实施方式，所述第二方向垂直于所述第一方向。

根据本发明的实施方式，不同摄像机的像素与所述第二方向对齐。

根据本发明的实施方式，图像处理系统能够将超分辨率处理应用于所述拍摄系统提供的一连串图像。

根据本发明的实施方式，所述第一角度在3度到20度之间。

根据本发明的实施方式，所述设备包括与沿着所述第二方向的第一组摄像机平行的第二组摄像机，所有摄像机的各自光轴相对于与所述的两个方向垂直的第三方向倾斜第二角度。

根据本发明的实施方式，所述设备还包括具有确定图样的两个投影仪，这些图样使得由每一投影仪投影的两条直线在由所述第一方向和所述第二方向限定的平面中对齐并且与将所述两个投影仪的光学中心互连的直线共面。

根据本发明的实施方式，所述第二角度在15度与25度之间。

本发明还提供可以一种用于控制这样的光学检测设备的方法。

结合附图，将在以下具体实施方式的非限制性描述中详细描述本发明的上述和其他目的、特征和优势。

附图说明

先前描述的图1示意性地示出了本发明所适用的类型的集成电路检测设备的示例，

图2是根据本发明的第一方面的实施方式的数字传感器的简化图，

图2A是根据本发明的第一方面的另一实施方式的数字传感器的简化图，

图3示出了图2的电路的操作，

图4是根据本发明的第二方面的实施方式的简化透视图，

图5和图5A示出了具有两个投影仪(比如图4中所示)的实施方式的操作，

图6是根据本发明的第二方面的设备的另一实施方式的简化透视图，以及

图7是示出图6的设备中所考虑的角度的简化图。