[发明专利]一种硅片切割砂浆分离方法

权利要求书

1.一种硅片切割砂浆分离方法，其特征在于：其具体步骤如下：

(1)砂浆预调制：首先对硅片切割砂浆加入水进行砂浆预调制，使待分离的砂浆固液比保持在6∶4左右；

(2)一级分离：将调制好的砂浆加温到20-50℃范围，搅拌使混合液均匀。混合液通过离心机进行一级分离使固液分离，得到液相物A和固相物B，所用离心过程的转速为1000-1500r/min；

(3)液相物A处理：将液相物A泵送至滤布离心机进行过滤，去除固相微粒，得到的已除去固形物的清澈液体；

将上述液体加热至60-65℃，加入脱色剂，搅拌以加速脱色进程；

将脱色后经过二级过滤，以除去吸附杂质后的脱色剂，得到的含水切割液泵入三效蒸发器，加热到150℃，蒸发脱水；待含水切割液蒸发至含水量≤0.5wt％，再经精密过滤器过滤，以去除液体中＞1μm杂质颗粒和大分子聚乙二醇，即可获得聚乙二醇回收液；

(4)固相物分离：将固相物B放入搅拌器中，并加入无离子水使固液比例控制在7∶3后进行搅拌，搅拌均匀的液体，泵送到多级涡旋分流器得到液体C和液体D；

(5)硅微粉分离：将液体C泵送到卧式螺旋离心机，转速为1000-1500r/min，分离得到膏状硅微粉和水，将膏状硅微粉打入闪蒸干燥机，闪蒸温度180℃，干燥得到硅微粉；

(6)铁粉分离：将液体D泵送到电磁分离机中进行分离，得到液体E和固体铁粉；固体铁粉干燥至无水后，即可得到纯净铁粉；

(7)碳化硅分离：将液体E泵送到卧式螺旋离心机进行分离，转速为1000-1500r/min，得到膏状碳化硅，将膏状碳化硅打入闪蒸干燥机，闪蒸温度180℃，干燥得到碳化硅粉体，将碳化硅粉体打入气流分级机，即可得到1200号碳化硅和1200号以下碳化硅。

2.根据权利要求1所述的分离方法，其特征在于：步骤(2)中的使用的离心机为卧式螺旋卸料沉降离心机，转速采用1300r/min。

3.根据权利要求1所述的分离方法，其特征在于：步骤(2)中液相物A含有固相微粒的聚乙二醇和水；所得固相物B含有呈膏状的硅微粉、碳化硅和铁粉。

4.根据权利要求1所述的分离方法，其特征在于：步骤(3)中脱色剂为活性炭或过硫酸铵。

5.根据权利要求1所述的分离方法，其特征在于：步骤(3)中的精密过滤器选自微孔膜过滤器。

6.根据权利要求1所述的分离方法，其特征在于：步骤(4)中液体C为硅微粉和水的混合物，液体D为碳化硅、铁粉和水的混合物。

7.根据权利要求1所述的分离方法，其特征在于：步骤(4)中所述的多级涡旋分流器为多柱锥组合式液-液分离用旋流器。