[发明专利]真空镀膜自动转换装置

权利要求书

1.一种真空镀膜自动转换装置，包括并排相连的进料室(21)、真空镀膜室(20)和出料室(22)，其特征在于：该进料室(21)与真空镀膜室(20)之间，以及该真空镀膜室(20)与出料室(22)之间分别设有能密封关闭的第二闸门(23b)和第三闸门(23c)，其中：

1)该进料室(21)设有用于托架滑动的第一轨道(30a)、控制托架沿该第一轨道(30a)滑动的第一滑动机构以及能送入托架并密封关闭的第一闸门(23a)；

2)该真空镀膜室(20)设有能由该第一轨道(30a)上托架通过该第二闸门(23b)滑入的第二轨道(30b)、控制托架(46)沿该第二轨道(30b)滑动的第二滑动机构；

3)该出料室(22)设有由该第二轨道(30b)上托架通过该第三闸门(23c)能滑入的第三轨道(30c)、控制托架沿该第三轨道(30c)滑动的第二滑动机构以及能取出托架并密封关闭的第四闸门(23d)。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于：该托架(46)设有能放置镀膜工件的支撑板或挂钩。

3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于：该第一滑动机构、第二滑动机构和第三滑动机构分别设于对应轨道上并能支撑托架滑动的滚轮组，各滚轮组分别通过对应驱动马达控制滚动。

4.根据权利要求1或2所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于：该第一闸门(23a)、第二闸门(23b)、第三闸门(23c)和第四闸门(23d)分别通过马达控制关闭或打开。

5.根据权利要求1或2所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于：该真空镀膜室(20)内侧顶部至少设有一个能对托架上的工件加热的电热丝加热体(25)或红外加热体。

6.根据权利要求1或2所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于：该进料室(21)内侧顶部至少设有一个能对托架上的工件加热的电热丝加热体(24)或红外加热体。

7.根据权利要求1或2所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于：该真空镀膜室位于该第二轨道(30b)下方设有靶材(3)，该靶材通过加热机构加热蒸发，该加热机构为安装于该真空镀膜室内并可放置该靶材(3)的槽状金属加热体(50)，该槽状金属加热体两侧设有一对电极，该对电极另一端引出于该真空镀膜室(20)后，分别与电源变压器(70)之次级绕组引出端连接。

8.根据权利要求7所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于：该靶材(3)还通过转动机构控制能相对该第二轨道(30b)上托架(46)转动，该转动机构为通过轴承(61)固定于该真空镀膜室(20)内侧底部的转轴(60)，该转轴(60)上端与绝缘连接杆(52)一端固定，并且该绝缘连接杆(52)与该转轴(60)呈直角连接，该绝缘连接杆(52)另一端固定该槽状金属加热体(50)，该对电极另一端沿该绝缘连接杆(52)，并通过该转轴(60)内的两通孔(62)引出，该转轴(60)下端伸出该真空镀膜室(20)外后固定滚轮(63)，并通过传送带(64)和马达(66)控制转动。