[发明专利]一种光罩篮有效
| 申请号: | 201110209608.1 | 申请日: | 2011-07-25 |
| 公开(公告)号: | CN102903656A | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
| 发明(设计)人: | 马玉玲;彭超群;文燕;戴新华 | 申请(专利权)人: | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68 |
| 代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
| 地址: | 100871 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 光罩篮 | ||
1.一种光罩篮,其特征在于,包括:支架、至少两个抽屉板以及挡板,其中,
所述至少两个抽屉板水平连接在所述支架上,每两个抽屉板之间的距离不小于光罩盒放置时的高度;
所述挡板设置在每个抽屉板的上表面,且挡板围成的区域与光罩盒放置时的搁置面相匹配。
2.如权利要求1所述的光罩篮,其特征在于,所述支架为两个相互平行的立面组合而成;或者,所述支架为两个相互平行的立面与另一个立面垂直连接而成半封闭的框型结构体;或者,所述支架为两个立面组合而成的半封闭的三角柱型结构体。
3.如权利要求2所述的光罩篮,其特征在于,所述至少两个抽屉板采用抽拉式结构连接在所述支架上。
4.如权利要求3所述的光罩篮,其特征在于,还包括防滑栓,卡合在所述至少两个抽屉板与所述支架的连接处,以固定抽屉板。
5.如权利要求4所述的光罩篮,其特征在于,所述防滑栓为一个或多个。
6.如权利要求5所述的光罩篮,其特征在于,还包括至少两个支撑杆,分别平行设置在每个抽屉板下方,与抽拉方向相同的抽屉板的侧面对齐,并与所述支架固定连接。
7.如权利要求6所述的光罩篮,其特征在于,所述防滑栓为多个时,针对每个抽屉板设置至少一个防滑栓,防滑栓的一端固定于支撑杆,另一端固定于支架的边缘。
8.如权利要求7所述的光罩篮,其特征在于,防滑栓的一端固定于支撑杆,另一端固定于支架边缘,包括:
在支架边缘且位于所述抽屉板的上方设置防滑挂钩,将所述防滑栓的一端挂接在所述防滑挂钩上。
9.如权利要求3所述的光罩篮,其特征在于,所述至少两个抽屉板采用抽拉式结构连接在所述支架上,包括:
在所述支架的两个立面相互对应的位置开设导轨,每个立面开设至少两个导轨,相应地在抽屉板的两个侧面边缘分别设置滑轮组;
将所述抽屉板设有滑轮组的两个侧面,与所述支架开设导轨的两个立面相互对应进行安装,形成抽拉式结构。
10.如权利要求9所述的光罩篮,其特征在于,还包括多个防滑塞子,分别设置在所述支架开设导轨的一端或两端。
11.如权利要求1-10任一项所述的光罩篮,其特征在于,还包括一提手,连接在所述支架的两侧。
12.如权利要求1-10任一项所述的光罩篮,其特征在于,所述挡板至少一侧设有凹槽。
13.如权利要求11所述的光罩篮,其特征在于,所述光罩篮的各组成部分均采用防静电材料制成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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