[发明专利]振动片、振子、振荡器以及电子设备

权利要求书

1.一种振动片，其特征在于，该振动片具有：

基部，其具有安装面；

振动臂，其从所述基部起延伸地设置，具有第1面以及与该第1面相对且位于所述安装面侧的第2面，在所述第1面和所述第2面的法线方向上产生弯曲振动；以及

层叠结构体，其设置于所述振动臂的所述第1面和所述第2面中的至少一方上，至少具有第1金属层、第2金属层以及配置在所述第1金属层与所述第2金属层之间的压电体层，

所述振动臂朝向所述安装面侧翘曲。

2.根据权利要求1所述的振动片，其特征在于，

在设所述振动臂的长度为L、所述振动臂的厚度为t、所述振动臂的杨氏模量为Es、所述振动臂的泊松比为vs、所述压电体层的厚度为d、所述压电体层的残留应力为σ时，所述振动臂的翘曲量δ通过下式得到：

δ=3L2(1-vs)dEst2σ.]]>

3.根据权利要求1或2所述的振动片，其特征在于，

所述基部的厚度比所述振动臂的厚度厚。

4.根据权利要求3所述的振动片，其特征在于，

所述基部具有与所述安装面相对的主面，

所述振动臂在所述安装面与所述主面之间的范围内产生所述弯曲振动。

5.根据权利要求1～4中任意一项所述的振动片，其特征在于，

所述压电体层被设置在所述第1面和所述第2面这两个面上。

6.一种振动片的制造方法，该振动片具有：基部，其具有安装面；振动臂，其从所述基部起延伸地设置；以及层叠结构体，其设置于所述振动臂上，至少具有第1金属层、第2金属层以及配置在所述第1金属层与所述第2金属层之间的压电体层，该振动片的制造方法的特征在于，

所述振动臂具有第1面以及与该第1面相对且位于所述安装面侧的第2面，

在所述第1面侧形成所述层叠结构体，

以残留压缩应力的方式，形成所述第1金属层、所述第2金属层和所述压电体层中的至少一层。

7.一种振动片的制造方法，该振动片具有：基部，其具有安装面；振动臂，其从所述基部起延伸地设置；以及层叠结构体，其设置于所述振动臂上，至少具有第1金属层、第2金属层以及配置在所述第1金属层与所述第2金属层之间的压电体层，该振动片的制造方法的特征在于，

所述振动臂具有第1面以及与该第1面相对且位于所述安装面侧的第2面，

在所述第2面侧形成所述层叠结构体，

以残留拉伸应力的方式，形成所述第1金属层、所述第2金属层和所述压电体层中的至少一层。

8.一种振子，其特征在于，该振子具有：

权利要求1～5中任意一项所述的振动片；以及

内部安装有所述振动片的封装。

9.一种振荡器，其特征在于，该振荡器具有：

权利要求1～5中任意一项所述的振动片；以及

驱动所述振动片的电子部件。

10.一种电子设备，其特征在于，该电子设备搭载了权利要求1～5中任意一项所述的振动片。