[发明专利]传感器型真空计及使用传感器型真空计的单晶提升装置

权利要求书

1.一种传感器型真空计，为来自传感器部的输出根据测定对象物的气体可变动的传感器型真空计，其包括可在测定对象物上自由拆装的本体，该本体上一体化组装有传感器部、供给测定压力所需电力的电源部、处理所述传感器部的输出并指示压力的控制部，其特征在于构成如下：

在所述控制部上，按多种气体的每种分别存储将所述输出对应于压力的校正表，并设置选择要测定的特定种类气体的输入部，切换到与已选择的气体相对应的校正表处理传感器部的输出并指示压力。

2.一种传感器型真空计，为来自传感器部的输出根据测定对象物的气体可变动的传感器型真空计，其包括可在测定对象物上自由拆装的本体，该本体上一体化组装有传感器部、提供测定压力所需电力的电源部、处理传感器部的输出并指示压力的控制部，其特征在于构成如下：

在所述控制部上，按一种气体存储将所述输出对应于压力的校正表，同时将在规定压力上的一种气体和其他气体的所述传感器部的输出的比作为补正系数加以存储，设置选择所述其他气体的输入部，以所述校正表为基础，处理该已选择的气体相对应的补正系数乘以所述传感器部的输出得到的结果，并指示压力。

3.根据权利要求1或2所述的传感器型真空计，其特征在于，所述气体的选择通过设置在本体上的转换元件或通过对控制部自由输入的外部信号来实施。

4.根据权利要求1或2所述的传感器型真空计，其特征在于，所述本体还包括显示所述已选择气体的显示设备。

5.根据权利要求1或2所述的传感器型真空计，其特征在于，所述传感器型真空计是利用气体的热传导率依存于压力的关系的皮拉尼真空计。

6.一种单晶提升装置，其特征在于，包括：安装有权利要求5所述的传感器型皮拉尼真空计的真空腔室、配置于该真空腔室内的坩埚、单晶提升组件、统一控制装置启动的控制单元；通过将原料收纳熔解于坩埚内，将籽晶浸渍于该已熔解的熔液中并提起，而使与籽晶排列方位相同的单晶成长；根据导入真空腔室内的气体，通过控制单元将外部信号输入传感器型皮拉尼真空计，用传感器型皮拉尼真空计来选择上述气体，将该压力指示给控制单元。