[发明专利]LED衬底加工用研磨液及其制备方法

权利要求书

1.一种LED衬底加工用研磨液，包括溶剂、添加剂和研磨剂，其特征是：研磨剂由金刚石微粉及非金刚石纳米级抛光材料组成；金刚石微粉，纯度为99%以上，粒度为：W0.5~ W20；非金刚石纳米级抛光材料为氧化铝、氧化硅、氧化铈、氧化铬中的任意一种或任意几种的混合物，粒度为10~100nm，纯度为99%以上。

2.根据权利要求1所述的LED衬底加工用研磨液，其特征是：一种水性研磨液由以下原料按重量比制备而成：金刚石微粉0.1～2份、润湿剂0.01～2份、分散剂1～6份、悬浮剂0.2～10份、非金刚石纳米级抛光材料0.5~5份、去离子水75～99份。

3.根据权利要求2所述的LED衬底加工用研磨液，其特征是制备方法如下：1）按重量份选取原料备用；2）取润湿剂加入金刚石微粉中，搅拌并超声20～30min，充分润湿金刚石微粉颗粒表面；3）取去离子水、分散剂混合，并与润湿后的金刚石微粉混合，并用超声波分散10～30min；4）取上述金刚石混合液体，加入悬浮剂，搅拌并超声分散15～20min；5）取上述分散均匀的液体，加入所述的非金刚石纳米级抛光材料，并用超声波细胞粉碎机分散混合液体10～30min后即制备成水性研磨液。

4.根据权利要求2或3所述的LED衬底加工用研磨液，其特征是：所述的润湿剂、分散剂、悬浮剂为分析纯；所述的润湿剂为柠檬酸、草酸、丙三醇、琥珀酸二异辛酯磺酸钠、N，N-二甲基十二烷基胺丙基磺酸内铵盐中的任意一种或任意几种的混合物；所述的分散剂为十二烷基硫酸钠、十二烷基磺酸钠、六偏磷酸钠、1，2-丙二醇、二甘醇、乙二醇、聚乙二醇、硅烷偶联剂、烷基酚与环氧乙烷的缩合物、烷基酚聚氧乙烯醚中的任意一种或任意几种的混合物；所述的悬浮剂为黄原胶、明胶、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、聚丙烯酰胺、羧甲基纤维素钠、多聚磷酸钠中的任意一种或任意几种的混合物。

5.根据权利要求1所述的LED衬底加工用研磨液，其特征是：一种油性研磨液由以下原料按重量比制备而成：金刚石微粉0.1~3份、表面活性剂0.1~2份、非金刚石纳米级抛光材料0.2~3份、分散剂0.8~5份、低碳链烃类溶剂油或轻质矿物油87~99份。

6.根据权利要求5所述的LED衬底加工用研磨液，其特征是制备方法如下：1）按重量份选取原料备用；2）在金刚石微粉中加入表面活性剂，超声搅拌10~30min使金刚石微粉表面充分润湿；3）将上述润湿好的金刚石微粉中加入低碳链烃类溶剂油或轻质矿物油，充分搅拌并超声分散20~30min；4）将上述分散后液体中加入非金刚石纳米级抛光材料，充分搅拌并用超声波细胞粉碎机分散20~30min；5）将上述分散好的油性液体中加入分散剂，充分搅拌并用超声波细胞粉碎机超声分散15~20min后，即制备成油性研磨液。

7.根据权利要求5或6所述的LED衬底加工用研磨液，其特征是：所述表面活性剂为失水山梨醇单油酸脂、失水山梨醇单硬脂酸脂、聚氧乙烯失水山梨醇单硬脂酸酯、油酸三乙醇胺、聚氧乙烯失水山梨醇单油酸酯、脂肪酸聚乙二醇酯中的任意一种；所述分散剂为壬基酚聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、蓖麻油聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚中的任意一种。