[发明专利]超声波吸气组件

说明书

技术领域

本发明涉及吸气组件，特别涉及一种超声波吸气组件。

背景技术

在对晶片进行检测时，通常是将晶片利用真空吸气的方式，将晶片从供料机构中吸取， 然后利用正压气体吹放在检测平台上的检测工位，进行一系列的晶片检测项目。

随着晶体向小型化发展，晶体内的晶片越来越小，由于晶片过于微小重量非常轻，在放 置晶片的时候正压空气非常容易把晶片吹飞，严重偏离检测位置，并且吹气量难以调整和控 制，当把吹气量调小时，由于晶片静电以及晶片表面污染等因素，用传统的方式小晶片非常 容易附着在吸头上，使放料失败。

发明内容

本发明的目的在于克服已有技术的不足，提供一种可以实现小晶片的良好定位的超声波吸 气组件。

为了达到上述目的，本发明采用的技术方案是：

本发明的超声波吸气组件，它包括固定板，它还包括通过夹板与所述的固定板固定相连的 超声波发生器，安装在所述的超声波发生器上的吸头与真空发生器通过真空气路接头相连通。

本发明的优点在于：本组件可以应用到晶体设备中用于晶片的取放，实现了小晶片的良 好定位。

附图说明

图1是本发明的超声波吸气组件的立体结构示意图；

图2是图1所示的组件的俯视图。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明进行详细描述。

如附图所示的本发明的超声波吸气组件，它包括固定板2，它还包括通过夹板3与所述的 固定板2固定相连的超声波发生器1，安装在所述的超声波发生器1上的吸头4与真空发生器 通过真空气路接头6相连通。

本组件是石英晶体检测设备的一部分，特别用于取放非常轻小的石英晶片。

采用本组件的工作过程如下：

吸头4与真空气路接头6组成真空回路用来吸取微小轻小物体5(在本设备中为晶片)， 吸取动作通过真空发生器产生真空吸力吸取晶片；当要放置晶片时，真空发生器关闭，超声 波发生器1开始带动吸头4振动，晶片下落，完成晶片的置放。