[发明专利]多注行波管阴极钼筒的制备方法

权利要求书

1.一种多注行波管阴极钼筒的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）对钼片材进行钼毛坯加工：首先将钼片材切割成满足加工要求的条带，然后将条带冲切成钼毛坯；

（2）在超声波中清洗钼毛坯零件：对步骤（1）加工后的钼毛坯零件进行超声波清洗，然后进行脱水及干燥；

（3）酸洗抛光：将步骤（2）干燥后的钼毛坯零件放入酸洗溶液中进行酸洗，然后放入到光泽处理溶液中进行抛光处理，然后进行清洗、脱水和干燥处理；

（4）对钼毛坯零件进行氢气退火处理：将步骤（3）中处理好的钼毛坯零件放在氢炉内的托架上，并放好炉罩，进行真空高频氢气退火处理；

（5）旋压处理：用顶针经衬套将步骤（4）经过氢气退火处理的钼毛坯零件压紧到旋压夹具上，然后在钼毛坯零件上抹上油，启动车床，调整钼毛坯零件位置，使其圆心与旋压夹具端面圆心在一条直线上，然后用黄铜旋压棒紧靠在车床附加柱子上，使黄铜旋压棒圆端紧压在钼毛坯零件右侧，随着车床转轴旋转，缓慢地将钼毛坯零件旋压在旋压夹具上，旋压成带有卷边的杯子状，旋压结束后，松开夹具，取下旋压形成的钼毛坯零件；

（6）对钼毛坯零件进行车加工处理：将钼毛坯零件放到车削卡头夹具上，车削钼毛坯零件的高度和外圆，并磨钝锐边；

（7）加工孔：通过钻头在钼毛坯零件钻孔，并通过花样模板检测孔的分布情况，然后去毛刺，手工检测孔是否有毛刺后，重复步骤（2）和步骤（3），然后挑选出没有毛刺的钼筒，将有毛刺的钼筒进行再处理；

（8）检测钼筒内容和孔径：对步骤（7）挑选出的钼筒进行毛刺检测，同时通过塞规检测钼筒内径和钼筒的孔径，用花样模板检测孔的分布情况，其他尺寸采用通用方法检测，然后再次重复步骤（2）和步骤（3）；

（9）对钼毛坯零件进行二次氢气退火处理：将步骤（9）中处理好的钼筒放在氢炉内的托架上，并放好炉罩，进行真空高频氢气退火处理。

2.根据权利要求1所述的多注行波管阴极钼筒的制备方法，其特征在于，步骤（2）所述的超声波的震荡频率为17.5～23.5KHz，清洗时间为15～20min，且清洗结束后的电阻大于2MΩ，且通过无水乙醇进行3-5s的脱水处理，而干燥条件为干燥温度75～85°C、干燥时间为10～45min。

3.根据权利要求1所述的多注行波管阴极钼筒的制备方法，其特征在于，步骤（3）所述的酸洗溶液包括三种，分别为酸洗溶液一、酸洗溶液二和酸洗溶液三，酸洗溶液一包括硝酸、硫酸和5～10g/L的氯化钠，且硝酸、硫酸和氯化钠的体积比为：500±10：500±10：75±5，酸洗溶液二包括硝酸、硫酸和去离子水，且硝酸、硫酸和去离子水的体积比为500±10：250±5：250±5，酸洗溶液三包括甲酸、过氧化氢、氨水和去离子水，且甲酸、过氧化氢、氨水和去离子水的体积比为：30±1.5：400±10：70±5：500±10。

4.根据权利要求2所述的多注行波管阴极钼筒的制备方法，其特征在于，所述的钼毛坯零件在酸洗溶液一中酸洗1-2s，洗去金属层的平均厚度为1～3μm，在酸洗溶液二中酸洗3-5s，洗去金属层的平均厚度为8～11μm，在酸洗溶液三中酸洗1～2min，洗去金属层的平均厚度为1μm。

5.根据权利要求1所述的多注行波管阴极钼筒的制备方法，其特征在于，步骤（3）所述的光泽处理溶液包括三氧化铬、硫酸和去离子水，其中三氧化铬的质量与硫酸和去离子水的体积比为：300±10：50±2 ：1000±20，在光泽处理溶液中进行2～3 s的光泽处理后，用自来水水冲洗钼毛坯零件45～60s，然后再用去离子水冲洗钼毛坯零件1～1.5min，然后再浸入到丙酮或者无水乙醇中进行脱水处理2-3s，最后用喷枪吹干后放入烘箱干燥，干燥时间为10～15min。

6.根据权利要求1所述的多注行波管阴极钼筒的制备方法，其特征在于，步骤（4）所述的氢气退火处理包括修正氢炉的温度值的步骤，当熔点为1083℃的无氧铜焊料熔化时温控仪的显示温度减去1083后的数值就为该氢炉的温度修正值，然后保持氢气退火温度为910±25℃，保持时间为8-10min，然后在温控仪上设置退火温度曲线，当氢炉内的温度冷却到55～5℃，取出钼毛坯零件。

7.根据权利要求1所述的多注行波管阴极钼筒的制备方法，其特征在于，步骤（10）所述的二次氢气退火处理的退火温度为：900±25℃，保持时间60min。