[发明专利]一种染料敏化电池辅助电极的制备方法

权利要求书

1.一种染料敏化电池辅助电极的制备方法，其特征在于：所述的方法按照如下步骤进行：

1)在玻璃基板上印刷一层15-45μm的抗玻璃腐蚀液的感光胶，60-100℃条件下干燥20-25min，通过掩膜版进行曝光、显影，再用去离子水反复冲洗10min，将玻璃基板需要刻蚀图形上的感光胶去除，然后在80-100℃条件下干燥10min；

2)用质量百分比浓度为40％的氢氟酸和纯水，按质量比为1∶4配成的混合液对玻璃基板在室温下进行刻蚀处理，刻蚀时间为8-30s，再用去离子水反复冲洗10min，后用剥膜液将玻璃基板上不用刻蚀图形的部分上的感光胶剥离，再用去离子水反复冲洗10min，在玻璃基板上形成所需刻蚀图形的凹槽；

3)按照设计的图形在玻璃基板刻蚀的沟槽中，通过丝网印刷方法印刷银栅辅助电极，在干燥箱中150-180℃下干燥10-20min，后在电阻炉中进行烧结，烧结温度为450-500℃，保温15-30min，烧结后银栅电极填满刻蚀的玻璃沟槽；

4)将制作好辅助电极图形的玻璃基板转移到磁控溅射仪的腔体中，溅射一层透明的氧化铟锡ITO导电层，厚度为200nm，得到制备好具有辅助电极的染料敏化电池用玻璃基板。

2.根据权利要求1所述的染料敏化电池辅助电极的制备方法，其特征在于：所述步骤1)中的曝光量为600-800mJ/cm²，显影液采用温度为30-40℃的质量百分比浓度为0.2％-0.6％的碳酸钠溶液，显影时间为20-60s。

3.根据权利要求1所述的染料敏化电池辅助电极的制备方法，其特征在于：所述步骤2)中的剥膜液是质量百分比浓度为0.3％-0.6％的氢氧化钠溶液，剥膜液温度为30-55℃，时间为20-60s。

4.根据权利要求1所述的染料敏化电池辅助电极的制备方法，其特征在于：在进行步骤1)之前先将玻璃基板依次用洗洁精、去离子水超声波清洗干净、吹干。