[发明专利]直拉式单晶炉的可调托晶盘装置

说明书

技术领域

本发明涉及单晶炉装置领域，尤其是指一种直拉式单晶炉的可调托晶盘装置。

背景技术

直拉式单晶炉是生产太阳能电池用单晶硅和集成电路及单晶硅的的主要设备。随着太阳能电池硅材料的尺寸越来越大。以及集成电路对单晶材料的品质要求越来越高。对与之相对应的单晶生长设备的自动化程度和长期使用的稳定性提出了更高的要求。托晶盘是直拉式单晶炉的必备部件，它直接影响副室在自动左右旋转的晶体炉上工作运行的平稳性和安全性能。中国专利曾公开了一种“带可旋转托盘的单晶炉”(中国，公告号CN2764789Y，公告日2006年3月15日)，主要包括一单晶炉，该单晶炉由炉体、上转电机、上升降电机、下升降电机、导轨、螺杆、托盘组成，所述托盘被制成一转盘，该转盘由一下转电机驱动。采用本实用新型的带可旋转托盘的单晶炉，且通过控制托盘旋转方向与转速，可有效克服晶体生长中的组分偏聚现象。但它没有涉及到托晶盘装置的具体结构。

发明内容

本发明的目的在于提供一种直拉式单晶炉的可调托晶盘装置，它结构合理，设计巧妙，体积小，稍用力就可实现可调托晶盘下移，自动上移平稳。

为达到上述目的，本发明创造采取的方案是：一种直拉式单晶炉的可调托晶盘装置，它包副室、副室下法兰、托晶盘，托晶盘与摇臂连接，导向套焊接在副室下法兰侧面，导向套筋板与副室下法兰上平面、导向套焊接，导向套内安装弹簧，导向座安装在导向套上端，带外螺纹的连接销轴从下向上穿过摇臂定位孔、导向套、弹簧、导向座，用两个调节螺母锁定，摇臂与连接销轴采用台阶孔套接。

本装置包含有：托晶盘、导向套、导向座、调节螺母、连接销轴、导向套筋板、副室下法兰和弹簧。装置在经过多次试验对比结果后，并选用合适的机构，以合理的布局将各个零件安装在副室下法兰上，能有效地控制各部件之间形位公差，并从使用者及点检维护人员角度，以方便、迅速、可靠、安全为原则，尽可能提高可调托晶盘装置在配有全自动控制系统中，在副室带自动左右旋转的晶体炉上工作运行中的平稳性和安全性能。

本装置待用状态时，托晶盘由弹簧推动导向座向上受力，弹簧弹力略大于整个托晶盘重量，托晶盘底部高于副室下法兰下平面。要使用时，只要把托晶盘向下轻拉，使托晶盘上平面低于副室下法兰底平面后，旋转托晶盘到副室内腔中心，即可。然后降下副室中悬挂晶棒与托晶盘刚接触或将要接触，旋转副室至合适位置后，将托晶盘向下轻拉，旋转到副室下法兰外侧，放开手。托晶盘可自行上升至副室法兰中上部。完成取出单晶棒的产品，设备、人员的安全得到保证。

本装置的特点：外形体积小；结构巧妙；稍用力就实现可调托晶盘下移；自动上移平稳；托晶盘与连接销轴采用台阶孔套接，托晶盘旋转时销轴受弹簧阻力而静止，连接销轴只作上下位移；自动上移后最低点高于副室下法兰底平面，完全不会对副室旋转及升降发生妨碍，并且清洁方便，完全消除取出晶棒过程中的安全隐患。单晶棒较长时，可以通过调节连接销轴上方两个细牙调节螺母，使连接销轴下移，实现套接在连接销轴上的托晶盘向下移动，满足实际需要。连接销轴及调节螺母采用细牙螺纹，手动调节完毕后手动锁紧即可，并且有效螺纹长度经过计算并实际冲击试验，方便而且安全。

附图说明

图1是本实施例的结构示意图。

图2是图1中A处放大图。

图3是本实施例的俯视图。

图中：1、摇臂，2、托晶盘，3、导向套，4、导向座，5、调节螺母，6、连接销轴，7、导向套筋板，8、副室，9、弹簧，10、副室下法兰，11、晶棒。

具体实施方式

下面结合实施例及其附图对本发明再作描述。

参见图1-图3，一种直拉式单晶炉的可调托晶盘装置，它包副室8、副室下法兰10、托晶盘2，托晶盘2与摇臂1连接，导向套3焊接在副室下法兰10侧面，导向套筋板7与副室下法兰10上平面、导向套3焊接，导向套3内安装弹簧9，导向座4安装在导向套3上端，带外螺纹的连接销轴6从下向上穿过摇臂1定位孔、导向套3、弹簧9、导向座4，用两个调节螺母5锁定，摇臂1与连接销轴6采用台阶孔套接。

参见图1和图2，所述的导向套3底面距离副室下法兰10底平面1.2倍托晶盘2厚度。

参见图1和图3，晶棒11头部锥面与托晶盘2锥形托晶面能够有效的贴紧，托晶盘2能自动与晶棒11对中匹配好，即靠晶棒11自动定位。在实际生产使用中稳定，可靠，有效。