[发明专利]盘式分子泵

权利要求书

1.一种包括泵体〔1〕、转轴〔2〕、鼠笼式聚气导流装置〔4〕、动圆盘〔5〕、静圆盘〔6〕、气体吸入口〔7〕、气体排出口〔8〕的盘式分子泵，其特征在于：

a.所述的动圆盘〔5〕固定在转轴〔2〕上，

b.所述的静圆盘〔6〕的外缘固定在泵体〔1〕上，

c.所述的动圆盘〔5〕、静圆盘〔6〕按次序交替紧密排列，其最后一个是动圆盘。

2.根据权利要求1所述的盘式分子泵，其特征在于有相当厚度的动圆盘〔5〕、静圆盘〔6〕上设置径向矩形或梯形气道〔10〕、〔12〕，气道的两个径向侧面与圆盘水平面间的倾斜角各自可在0°至180°之间改变。

3.根据权利要求1所述的盘式分子泵，其特征在于有相当厚度的动圆盘〔5〕上气道的两个径向侧面中作为主要传输气体分子作用的一个侧面，与静圆盘〔6〕上气道的两个径向侧面中作为主要传输气体分子作用的一个侧面，两者的倾斜方向是互为相反的。

4.根据权利要求1所述的盘式分子泵，其特征在于动圆盘〔5〕与静圆盘〔6〕的外形尺寸和内部结构基本相同。

5.根据权利要求1所述的盘式分子泵，其特征在于动圆盘〔5〕与静圆盘〔6〕和泵体〔1〕之间，静圆盘〔6〕与转轴〔2〕之间，留有工作间隙。

6.根据权利要求1所述的盘式分子泵，其特征在于鼠笼式气体导流装置〔4〕与动圆盘〔5〕安装在转轴〔2〕上。

7.根据权利要求1、2所述的盘式分子泵，其特征在于径向矩形气道或梯形气道〔10〕、〔12〕的两个径向侧面的A-A方向的气道截图为四边形或梯形状。