[发明专利]MEMS显示装置及驱动此装置的方法

说明书

分案申请的相关信息

本申请为发明名称为“MEMS显示装置及驱动此装置的方法”的原中国发明专利申请的分案申请。原申请的申请号为200580028767.4；原申请的申请日为2005年8月23日；原发明专利申请案的优先权日为2004年8月27日。

技术领域

本发明的技术领域涉及微机电系统(MEMS)。

背景技术

微机电系统(MEMS)包括微机械元件、激励器及电子元件。微机械元件可采用沉积、蚀刻或其他可蚀刻掉衬底及/或所沉积材料层的若干部分或可添加若干层以形成电和机电装置的微机械加工工艺制成。一种类型的MEMS装置被称为干涉式调制器。干涉式调制器可包含一对导电板，其中的一或二者均可全部或部分地透明及/或为反射性，且在施加一个适当的电信号时能够相对运动。其中一个板可包含一沉积在一衬底上的静止层，另一个板可包含一通过一气隙与该静止层隔开的金属薄膜。上述装置具有广泛的应用范围，且在此项技术中，利用及/或修改这些类型装置的特性、以使其性能可用于改善现有产品及制造目前尚未开发的新产品将颇为有益。

发明内容

本发明的系统、方法及装置均具有多个方面，任一单个方面均不能单独决定其所期望的特性。现在，将对其更主要的特性进行简要论述，此并不限定本发明的范围。在查看这一说明，尤其是在阅读了标题为“具体实施方式”的部分之后，人们即可理解本发明的器件如何提供优于其他显示装置的优点。

在一第一实施例中，本发明包括一种设置于电极行与列的交叉点处的光调制器阵列，该阵列包括一衬底、至少一个由一第一电阻表征的第一电极、及至少一个第二电极，所述至少一个第二电极由一第二电阻表征并与所述至少一个第一电极相交叉以在每一交叉点处形成一光调制器。所述第二电阻小于所述第一电阻。一驱动电路包括一电连接至所述至少一个第一电极与所述至少一个第二电极中每一者的输出端。所述驱动电路经配置以在一第一阶段期间对所述至少一个第一电极施加一第一电压并在一第二阶段期间对所述至少一个第一电极施加一第二电压。所述驱动电路还将在所述第一阶段期间对所述至少一个第二电极施加一第三电压并在所述第二阶段期间对所述至少一个第二电极施加一第四电压，其中所述第三电压与所述第四电压之间的变换的进行快于所述光调制器的机械响应时间。所述第一电压与所述第二电压之差的绝对值小于所述第三电压与所述第四电压之差的绝对值。另外，所述第一电压与所述第三电压之差为一第一极性，而所述第二电压与所述第四电压之差为一与所述第一极性相反的第二极性。

在另一实施例中，一种装置包括：光调制构件，其设置于电极行与列的交叉点处；以及用于激励所述光调制构件的第一构件，所述第一激励构件由一第一电阻表征；及用于激励所述光调制构件的第二构件，所述第二激励构件由一第二电阻表征。所述第二电阻小于所述第一电阻。所述装置还包括用于在一第一阶段期间对所述至少一个第一电极施加一第一电压且在一第二阶段期间对所述至少一个第一电极施加一第二电压的构件。所述装置还包括用于在所述第一阶段期间对所述至少一个第二电极施加一第三电压且在所述第二阶段期间对所述至少一个第二电极施加一第四电压的构件，其中所述第三电压与所述第四电压之间的变换的进行快于所述光调制器的机械响应时间。在该实施例中，所述第一电压与所述第二电压之差的绝对值小于所述第三电压与所述第四电压之差的绝对值，且所述第一电压与所述第三电压之差为一第一极性，而所述第二电压与所述第四电压之差为一与所述第一极性相反的第二极性。

在另一实施例中，一种驱动一设置于电极行与电极列的交叉点处的光调制器阵列的方法包括：在一第一阶段期间通过在至少一个光调制器两端施加一具有一第一极性的第一电位差来激励所述至少一个光调制器，其中所述第一电位差大于一预定阈值。所述方法还包括：在一第二阶段期间通过在所述至少一个光调制器两端施加一具有所述第一极性的第二电位差来使所述至少一个光调制器保持处于受激励状态，其中所述第二电位大体等于所述预定阈值。在一第三阶段期间在所述至少一个光调制器两端施加一为一第二极性的第三电位差，所述第二极性与所述第一极性相反。所述电极列或所述电极行中的一者由一第一导电率表征并经受所述第一阶段与所述第三阶段之间的一第一电压差，且所述电极列或所述电极行中的另一者由一第二导电率表征并经受所述第一阶段与所述第三阶段之间的一第二电位差。所述第一导电率大于所述第二导电率，且所述第一电压差大于所述第二电压差。