[发明专利]一种真空绝热板高真空封装装置无效
| 申请号： | 201110187335.5 | 申请日： | 2011-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN102278570A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 周介明;陈照峰;邱金莲;陈舟;徐滕州 | 申请（专利权）人： | 苏州维艾普新材料有限公司 |
| 主分类号： | F16L59/065 | 分类号： | F16L59/065 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 215400 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 绝热 封装 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空绝热板高真空封装装置，其特征在于：它包括：一个封装真空室（1），一个进气阀（3），一个一级泵（8），一个二级泵（7），一个三级泵（6）和三个真空阀；所述三个真空阀分别为：真空阀A（2）、真空阀B（4）、和真空阀C（5）；所述封装真空室（1）内还设有真空计和高真空规管；所述高真空规管与真空计连接；
所述真空阀A（2）与三级泵（6）、封装真空室（1）、真空阀B（4）连接；所述真空阀C（5）与三级泵（6）、二级泵（7）连接；所述真空阀B（4）与真空阀A（2）、二级泵（7）连接；所述一级泵（8）与二级泵（7）连接；所述进气阀（3）位于真空阀B（4）与封装真空室（1）之间的任意位置。
2.根据权利权利要求1所述的一种真空绝热板高真空封装装置，其特征在于：所述一级泵（8）为：旋片泵，或水环泵，或往复式真空泵。
3.根据权利权利要求1所述的一种真空绝热板高真空封装装置，其特征在于：所述二级泵（7）为：罗茨泵，或旋片泵，或滑阀真空泵。
4.根据权利权利要求1所述的一种真空绝热板高真空封装装置，其特征在于：所述三级泵（6）为：扩散泵，或分子泵。
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