[发明专利]基于探针的磁传感器测试方法及其系统

权利要求书

1.一种基于探针的磁传感器测试方法，其特征在于：其包括以下步骤：

根据待测磁传感器的电路制作包括探针的探针卡，将待测磁传感器放置在测试台上；

在X轴上设置至少一个磁线圈，通过控制所述磁线圈的电流大小和方向，来控制所述测试台X轴上的磁场方向及磁场强度；

根据待测磁传感器的输出，计算出待测磁传感器X轴的偏置输出和/或灵敏度；

通过电机控制所述探针与测试台上待测磁传感器的接触，直至测试台上待测磁传感器全部测试完毕。

2.如权利要求1所述的基于探针的磁传感器测试方法，其特征在于：所述通过控制X轴磁线圈的电流大小和方向来控制所述测试台X轴上的磁场方向及磁场强度的步骤，具体为：

改变通过X轴磁线圈的电流大小，在待测磁传感器周围产生沿X轴正方向的预定磁场强度的磁场，此时待测磁传感器的输出为X1；

改变通过X轴磁线圈的电流方向，在待测磁传感器周围产生沿X轴反方向的磁场；

改变通过X轴磁线圈的电流大小，在待测磁传感器周围产生沿X轴反方向的预定磁场强度的磁场，此时待测磁传感器的输出为X2。

3.如权利要求2所述的基于探针的磁传感器测试方法，其特征在于：所述计算出待测磁传感器X轴的偏置输出的方法为，X偏置输出＝(X1+X2)/2。

4.如权利要求2所述的基于探针的磁传感器测试方法，其特征在于：所述计算出待测磁传感器X轴的灵敏度的方法为，X灵敏度＝(X1-X2)/2/该位置X补偿系数。

5.如权利要求1所述的基于探针的磁传感器测试方法，其特征在于：其还包括在Y轴上设置至少一个磁线圈，通过控制所述磁线圈的电流大小和方向，来控制所述测试台Y轴上的磁场方向及磁场强度。

6.如权利要求5所述的基于探针的磁传感器测试方法，其特征在于：其还包括在Z轴上设置至少一个磁线圈，通过控制所述磁线圈的电流大小和方向，来控制所述测试台Z轴上的磁场方向及磁场强度。

7.如权利要求1所述的基于探针的磁传感器测试方法，其特征在于：所述待测磁传感器阵列排布在所述测试台上，每次在测试台上阵列排布的所有待测磁传感器测试完毕之后，生成阵列图。

8.一种用于实施如权利要求1所述的基于探针的磁传感器测试方法的测试系统，其特征在于：所述基于探针的磁传感器测试系统包括：

测试台，待测磁传感器放置在所述测试台上，所述测试台可通过电机控制移动；

包括探针的探针卡，所述探针卡根据待测磁传感器的电路制作而成，通过电机控制探针卡移动进而控制探针与测试台上的待测磁传感器接触；

位于X轴上的至少一个磁线圈，通过控制所述磁线圈的电流大小和方向，来控制所述测试台X轴上的磁场方向及磁场强度；和

数据处理装置，根据待测磁传感器的输出，计算出待测磁传感器X轴的偏置输出和/或灵敏度。

9.如权利要求8所述的基于探针的磁传感器测试系统，其特征在于：其还包括位于Y轴上的至少一个磁线圈，通过控制所述磁线圈的电流大小和方向，来控制所述测试台Y轴上的磁场方向及磁场强度。

10.如权利要求9所述的基于探针的磁传感器测试系统，其特征在于：其还包括位于Z轴上的至少一个磁线圈，通过控制所述磁线圈的电流大小和方向，来控制所述测试台Z轴上的磁场方向及磁场强度。