[发明专利]一种检测晶片的调节装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种检测晶片的调节装置，在检测机械手上是否有无晶片的调节装置中得到充分的应用。

背景技术

离子注入机是一种通过引导杂质注入半导体晶片，从而改变晶片的传导率的设备，其中，杂质注入的深度和密度的均匀性都直接决定了注入晶片的品质。在晶片传送的过程中，我们采用机械手臂来传送晶片，首先晶片是放在片库的晶片盒子里，需要通过机械手将晶片取出来放到片库中，其次，在等到机械手把片库中的晶片取出来，当在机械手腔中时，系统需要检测机械手臂上是否有晶片，此时激光器发出激光，接收器判断是否接收到激光，若接收到激光，表示机械手上无晶片，进入等待过程，接收器没有接收到激光时，则有晶片在机械手上，进入相应下一步的操作。判断机械手上是否有晶片对于下一步的操作是非常重要的，通过判断是否有晶片来决定机械手臂是否传送晶片。

发明内容

本发明通过以下技术方案实现：

1.一种检测晶片的调节装置，包括：2个调节螺钉(1)、1个固定螺钉(2)、1个激光器(3)、1个接收器(4)。其特征在于，

其中所述调节螺钉(1)用来调节激光座子的位置。激光座位置决定激光器(3)发出的激光，当调节螺钉旋转到特定的位置，激光在无晶片的情况下，接收器接收到激光的位置。

2.一种检测晶片的调节装置，包括：2个调节螺钉(1)、1个固定螺钉(2)、1个激光器(3)、1个接收器(4)。其特征在于，

其中所述固定螺钉(2)固定整个调节装置，当调节螺钉确定之后，拧紧固定螺钉。此调节装置安装完毕。

附图说明

图1是本发明的一种检测晶片的发射调节装置结构图。

图2是本发明的一种检测晶片的接收装置结构图。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明作进一步详细描述：

该装置包括：2个调节螺钉(1)、1个固定螺钉(2)、1个激光器(3)、1个接收器(4)。此装置中激光器(3)的激光随着调节螺钉(1)的松动而变化方向，首先调整调节螺钉(1)，两个调节螺钉(1)交换调节，直至激光器(3)的激光在无晶片的情况下，接收器(4)接收到激光。就表明调节螺钉(1)调整完毕，其次在拧紧固定螺钉(2)。固定螺钉(2)用来固定此调节装置。固定激光器座子。

本发明的特定实施例已对发明内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明原理的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。