[发明专利]成膜装置有效
| 申请号： | 201110183672.7 | 申请日： | 2011-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN102312189A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 浮贺谷信贵;曾田岳彦;荣田正孝;宫田一史;川口昌宏;野田彰一 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社;株式会社日立显示器 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L21/68;H05B33/10;H05B33/14 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李颖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
1.一种成膜装置，包括：
成膜室，在所述成膜室中具有基板支撑部件和掩模支撑部件；
对准机构支撑部件，被设置在所述成膜室外部；和
对准机构，所述对准机构被设置在对准机构支撑部件上，并且，所述对准机构具有用于基板支撑部件的位置调整单元和用于掩模支撑部件的位置调整单元中的至少一个以及用于对准的照相机，其中：
对准机构支撑部件包含支撑板和腿部，所述支撑板用于放置对准机构；
支撑板被设置为借助于腿部而与成膜室的顶板分开；以及
支撑板的至少一部分由阻尼材料形成，所述阻尼材料能够将传送到支撑板的振动转换成热能而由此抑制振动。
2.根据权利要求1的成膜装置，其中，阻尼材料包含能够将在阻尼材料中所包含的成分之间产生的摩擦能量转换成热能的阻尼合金。
3.根据权利要求1的成膜装置，其中，阻尼材料包含能够将伴随孪晶的产生和所述孪晶的移动的动能转换成热能的阻尼合金。
4.根据权利要求1的成膜装置，其中，腿部被设置在掩模支撑部件的外周和基板支撑部件的外周中的至少一个的外侧的区域中。
5.根据权利要求1的成膜装置，其中，腿部被设置在掩模支撑部件的外周和基板支撑部件的外周中的至少一个的外侧并且被设置在成膜室的侧壁的内侧。
6.根据权利要求1的成膜装置，其中，腿部被设置在成膜室的侧壁的外侧。
7.根据权利要求1的成膜装置，其中，腿部包含振动绝缘部件。
8.根据权利要求7的成膜装置，其中，振动绝缘部件由阻尼材料形成。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社;株式会社日立显示器，未经佳能株式会社;株式会社日立显示器许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110183672.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：金属筒内壁的耐磨层离子真空镀膜方法
- 下一篇：离子真空镀膜方法与装置
- 同类专利
- 专利分类
