[发明专利]导电原子力显微镜的探针以及采用此探针的测量方法

权利要求书

1.一种导电原子力显微镜的探针，其特征在于，包括悬臂探针基底、针尖和设置在针尖表面的导电薄膜，所述导电薄膜的材料是石墨烯。

2.根据权利要求1所述的导电原子力显微镜的探针，其特征在于，所述石墨烯材料选自于单层石墨烯和多层石墨烯中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的导电原子力显微镜的探针，其特征在于，所述导电薄膜同时覆盖悬臂探针的基底和针尖。

4.根据权利要求1所述的导电原子力显微镜的探针，其特征在于，所述针尖与导电薄膜之间进一步具有一金属薄膜。

5.根据权利要求1所述的导电原子力显微镜的探针，其特征在于，所述金属的材料为镍。

6.一种采用权利要求1所述探针测量半导体局域导电性质的方法，其特征在于：

将样品固定于带有权利要求1所述导电原子力探针的原子力显微镜的样品台上；

在样品表面和探针表面石墨烯薄膜层分别引出导电引线，在二者之间串联一个直流电压源和一个电流计；

采用探针控制器控制原子力显微镜的导电原子力探针与样品表面接触，并将针尖移至样品表面待测量的位置，通过探测样品与针尖之间力的相互作用维持针尖与样品间距离的恒定；

在探针和样品间加直流电压，电流计将收集到的电流信号转换为电压信号。

7.一种采用权利要求1所述探针测量太赫兹波段无孔针尖近场光学探测的方法，其特征在于：

将样品固定于带有权利要求1所述导电原子力探针的原子力显微镜的样品台上；

采用探针控制器控制导电原子力显微镜的导电原子力探针与样品表面接触，并将针尖移至样品表面待测量的位置，通过探测样品与针尖之间力的相互作用维持针尖与样品间距离的恒定；

太赫兹光源发出一束太赫兹光，聚焦在样品表面针尖，反射的太赫兹信号进入太赫兹探测器；

移动样品，在保持针尖和太赫兹光束相对位置不变的情况下，对样品表面进行逐点扫描。