[发明专利]探针卡的平行调整机构和检查装置

权利要求书

1.一种探针卡的平行调整机构，其于在四角支承装载有探针卡的顶板的4个位置的支承柱中的至少三个位置使所述顶板升降，对所述探针卡与配置在其下方的载置台上的被检查体的平行度进行调整，

该探针卡的平行调整机构的特征在于：包括介设在所述至少三个位置的支承柱与所述顶板之间的升降机构，

所述升降机构具有：以沿着所述支承柱的上表面能够移动的方式配置的具有倾斜面的移动体；与所述顶板连结并且以沿着所述移动体的倾斜面能够升降的方式配置的升降体；和使所述移动体沿着所述支承柱的上表面移动的驱动机构。

2.如权利要求1所述的探针卡的平行调整机构，其特征在于：

所述驱动机构包括与所述移动体螺合的滚珠丝杆；和使所述滚珠丝杆驱动的电动机。

3.如权利要求1或2所述的探针卡的平行调整机构，其特征在于：

在所述支承柱与所述移动体的边界、和所述移动体的倾斜面与所述升降体的倾斜面的边界，分别介设有移动引导机构。

4.如权利要求3所述的探针卡的平行调整机构，其特征在于：

所述移动引导机构具有交叉滚子轴承。

5.如权利要求1～4中的任一项所述的探针卡的平行调整机构，其特征在于：

设置有对所述升降体进行升降引导的升降引导机构。

6.如权利要求1～4中任一项所述的探针卡的平行调整机构，其特征在于：

相互结合的所述移动体与所述升降体，分别在各自的倾斜面结合而形成为矩形状的块体。

7.一种检查装置，其具有探针卡的平行调整机构，所述探针卡的平行调整机构包括：载置被检查体的载置台；配置在所述载置台上方的探针卡；装载有所述探针卡的顶板；在四角支承所述顶板的4个位置的支承柱；和在所述4个位置的支承柱中的至少三个位置使所述顶板升降、来对所述探针卡与配置在其下方的载置台上的被检查体的平行度进行调整的探针卡的平行调整机构，该检查装置的特征在于：

所述平行调整机构包括介设于所述至少三个位置的支承柱与所述顶板之间的升降机构，

所述升降机构具有：以沿着所述支承柱的上表面能够移动的方式配置的具有倾斜面的移动体；与所述顶板连结、并以沿着所述移动体的倾斜面能够升降的方式配置的升降体；和使所述移动体沿着所述支承柱的上表面移动的驱动机构。

8.如权利要求7所述的检查装置，其特征在于：

所述驱动机构包括与所述移动体螺合的滚珠丝杆；和驱动所述滚珠丝杆的电动机。

9.如权利要求7或8所述的检查装置，其特征在于：

在所述支承柱与所述移动体的边界，以及所述移动体的倾斜面与所述升降体的倾斜面的边界，分别介设有移动引导机构。

10.如权利要求9所述的检查装置，其特征在于：

所述移动引导机构具有交叉滚子轴承。

11.如权利要求7～10中任一项所述的检查装置，其特征在于：

设置有对所述升降体进行升降引导的升降引导机构。

12.如权利要求7～10中任一项所述的检查装置，其特征在于：

相互结合的所述移动体和所述升降体，分别在各自的倾斜面结合而形成为矩形状的块体。