[发明专利]一种直接制备绒面氧化锌透明导电薄膜的方法

权利要求书

1. 一种直接制备绒面氧化锌透明导电薄膜的方法，其特征在于步骤如下：

1）将清洗后的衬底置于溅射腔室中进行预热；

2）将溅射腔室抽真空，待真空度小于1×10^-3 Pa时，分别向腔室中通入氩气和氢气作为溅射气体，并对腔室内气压进行调控；

3）待腔室内气体压强稳定后，采用氧化锌陶瓷靶材对衬底进行磁控溅射镀膜，直接制备具有绒面结构的氧化锌透明导电薄膜。

2.根据权利要求1所述直接制备绒面氧化锌透明导电薄膜的方法，其特征在于：所述衬底材料为玻璃或聚酰亚胺。

3.根据权利要求1所述直接制备绒面氧化锌透明导电薄膜的方法，其特征在于：所述衬底预热温度为200°C -500°C。

4.根据权利要求1所述直接制备绒面氧化锌透明导电薄膜的方法，其特征在于：所述氩气的流量为40-100 sccm，氢气的流量为4-20sccm，氢气流量占溅射气体总流量的5%-30%，溅射气压为0.5 Pa-3 Pa。

5.根据权利要求1所述直接制备绒面氧化锌透明导电薄膜的方法，其特征在于：所述氧化锌陶瓷靶材包括本征ZnO陶瓷靶材、ZnO:Al₂O₃陶瓷靶材、ZnO:Ga₂O₃陶瓷靶材、ZnO:B₂O₃陶瓷靶材和ZnO:In₂O₃陶瓷靶材。

6.根据权利要求1所述直接制备绒面氧化锌透明导电薄膜的方法，其特征在于：所述磁控溅射镀膜工艺为脉冲直流磁控溅射或射频磁控溅射。

7.根据权利要求1所述直接制备绒面氧化锌透明导电薄膜的方法，其特征在于：所述绒面氧化锌薄膜具有(002)、(101)、(102)、(110)、(103)、(201)中的一种或两种以上结晶取向并有弹坑状表面形貌，薄膜的厚度为1-3 μm，薄膜表面均方根粗糙度为30-120 nm，550nm处散射绒度为15-60%。