[发明专利]激光诱致热成像用膜的去除装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种激光诱致热成像(Laser Induced Thermal Imaging，LITI)用膜的去除装置，尤其涉及一种将附着在基板上的激光诱致热成像(LITI)用膜稳定地去除的装置。

背景技术

在平板显示器中，有机电致发光显示器的优点在于，无论尺寸如何，其均可作为运动图像的显示介质，因为有机电致发光显示器的响应时间为1毫秒或更少，功耗低，并且由于是自发光的因而具有出色的视角。此外，由于有机电致发光显示器能够基于现有的半导体处理技术，利用简单的工艺，在低温下制造，因此，作为下一代平板显示器而颇具吸引力。

根据有机电致发光装置中使用的材料和工艺，有机电致发光显示器一般可分为采用湿法的聚合物型装置和采用沉积法的低分子量型装置。

但是，用于聚合物或低分子量发光层的成图法中，喷墨打印法存在的缺点在于，用于除发光层外的有机层的材料有限，且用于喷墨打印的结构必须形成在基板上。此外，采用沉积法对发光层成图时，由于使用了金属掩膜，因而难以制造大型显示装置。

作为这种成图法的代替技术，激光诱致热成像(Laser Induced Thermal Imaging，LITI)法最近发展起来。

LITI法将光源发出的激光转变成热能，进而依次将成图材料转移到靶基板上，形成图形。

在LITI法中，供体薄膜覆盖作为受体的整个基板，供体薄膜和基板固定在平台上。此外，供体薄膜与基板通过层压处理进一步结合在一起，然后再进行激光成像，以形成图形。

应注意的是，上述说明仅用于理解背景技术，并不是对该领域内公知技术的说明。

常规地，在从基板上去除供体薄膜的处理中，供体薄膜会起皱，基板上的已成像部分会受到损坏。因此，需要解决该问题。

发明内容

本发明的一个方面在于提供一种通过根据辊子位置朝供体薄膜相继喷射空气从而将激光诱致热成像用供体膜从基板上稳定地去除的装置。

根据本发明的一个方面，提供了一种激光诱致热成像用膜的去除装置，包括：基板台，该基板台上设置有基板；辊单元，用于相继压制设置在该基板台上的供体薄膜；以及喷射单元，设置于该基板台并在该供体薄膜和该基板之间喷射空气。

所述喷射单元可以包括：穿过所述基板台的多个排气管；与该排气管连通的集气管；与该集气管连通的供气管；以及与该供气管连通并通过该供气管提供气动压的供气泵。

所述排气管可以围绕所述基板设置。

所述喷射单元可以根据所述辊单元的位置相继喷射空气。

附图说明

通过下文结合附图对实施例进行说明，可以清楚本发明的上述及其它方面、特征和优点，其中：

图1为根据本发明示例性实施例的激光诱致热成像(Laser Induced Thermal Imaging，LITI)用膜的去除装置的示意图；

图2为根据本发明示例性实施例的所述装置的喷射单元的示意图；

图3为根据本发明示例性实施例的所述装置的喷射单元的第一阶段喷射的示意图；

图4为根据本发明示例性实施例的所述装置的喷射单元的第二阶段喷射的示意图；

图5为根据本发明示例性实施例的所述装置的喷射单元的第三阶段喷射的示意图；以及

图6为根据本发明示例性实施例的所述装置的喷射单元的第四阶段喷射的示意图。

具体实施方式

现在将参考附图，详细地对本发明的实施例进行说明。应注意的是，附图并未按照精确的比例绘制，为方便描述和清楚起见，线条厚度或组件尺寸有可能被放大。此外，本中定义的术语考虑了本发明的功能，并可以根据使用者和操作人员的习惯或意图予以改变。因此，应根据本文所述的整个公开内容，来确定术语的含义。

图1为根据示例性实施例的激光诱致热成像(Laser Induced Thermal Imaging，LITI)用膜的去除装置的示意图，图2为根据示例性实施例的所述装置的喷射单元的示意图。

图3和图4分别示意性示出了根据示例性实施例的所述装置的喷射单元的第一阶段和第二阶段喷射。

图5和图6分别示意性示出了根据示例性实施例的所述装置的喷射单元的第三阶段和第四阶段喷射。

参见图1和图2，根据实施例的装置1包括基板台10、辊单元20以及喷射单元30。

基板台10具有凹部，该凹部内设有基板11和供体薄膜件12。

基板台10水平移动。可以通过轮、导轨、长度可变的气缸或其他各种结构来移动基板台10。