[发明专利]检查板状透明体的缺陷的装置以及缺陷检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种检查板状透明体的缺陷的装置以及缺陷检查方法。

背景技术

以往，作为对在FPD(Flat Panel Display：平板显示器)用玻璃基板等板状透明体的内部或者表面产生的缺陷部位进行检测的装置，可知一种专利文献1所公开的使用边光法的缺陷检查装置。

在专利文献1的缺陷检查装置中，使在一个方向上具有指向性的照明光从玻璃基板的侧面(端面)倾斜地入射，使其在玻璃基板的内表面进行全反射来对玻璃基板的内部进行照明，使用受光部对被玻璃基板的内部或者表面的缺陷散射而得到的散射光进行检测。

专利文献1的上述受光部包含平行地配置的多台线传感器相机，对沿着上述照明光的发射方向的玻璃基板的整个宽度方向进行拍摄。另外，多台线传感器相机的受光方向与玻璃基板的表面的法线方向之间的角度被设定为0°。即，多台线传感器相机的受光方向被设定在与玻璃基板的表面正交的方向上。

专利文献1：日本国专利第3329233号公报

发明内容

发明要解决的问题

在输送玻璃基板的过程中有时玻璃基板的表面与附着在输送辊上的碎玻璃接触，由于与该碎玻璃接触，有时在上述表面上产生长径10μm左右的微细凹痕、剥离伤(以下将这些总称为微细伤)。在FPD用玻璃基板中，由上述微细伤导致的成品率下降被视为问题。

在专利文献1所公开的缺陷检查装置中，将存在于玻璃基板内部的长径50μm以上大小的气泡等缺陷作为检测对象，因此无法检测上述微细伤。即，这是由于，长径50μm以上的缺陷的散射光的亮度较大，但是微细伤的散射光远远小于上述缺陷的亮度，在专利文献1的装置中，没有在检测这种微细伤的散射光上下功夫。为了检测微细伤，考虑进行显微镜精查，但是在通过显微镜精查来得到具有统计意义的数据、例如确定微细伤的产生频率的数据时需要庞大的时间和费用。

本发明是鉴于这种情形而完成的，目的在于提供一种不进行显微镜精查就能够对存在于板状透明体的表面的长径10μm左右的微细伤进行检测的检查板状透明体的缺陷的装置以及缺陷检查方法。

用于解决问题的方案

为了达到上述目的，本发明提供一种检查板状透明体的缺陷的装置，使光照射到存在于板状透明体的第一表面的缺陷上并发生散射来检查上述缺陷，该检查板状透明体的缺陷的装置具备以下部分：第一发光器，其将光照射到上述板状透明体的第一侧面；第二发光器，其将光照射到上述板状透明体的与第一侧面相对的第二侧面；第一受光器，其接收由来自上述第一发光器的光产生的前方散射光；以及第二受光器，其接收由来自上述第二发光器的光产生的前方散射光，其中，上述第一受光器的受光方向和上述板状透明体的位于第一表面相反侧的第二表面的法线方向之间的角度θ₁为0°＜θ₁≤60°，上述第二受光器的受光方向与上述法线方向之间的角度θ₂为0°＜θ₂≤60°。

为了达到上述目的，本发明提供一种检查板状透明体的缺陷的方法，使光照射到存在于板状透明体的第一表面的缺陷上并发生散射来检查上述缺陷，在该检查板状透明体的缺陷的方法中，将光从第一发光器照射到上述板状透明体的第一侧面，将光从第二发光器照射到上述板状透明体的与第一侧面相对的第二侧面，由第一受光器接收由照射到上述第一侧面的光产生的第一前方散射光，由第二受光器接收由照射到上述第二侧面的光产生的第二前方散射光，上述第一受光器的受光方向和上述板状透明体的与第一表面相对的第二表面的法线方向之间的角度θ₁为0°＜θ₁≤60°，上述第二受光器的受光方向与上述法线方向之间的角度θ₂为0°＜θ₂≤60°。

另外，本发明的检查板状透明体的缺陷的装置优选具备：控制单元，其对上述第一发光器的照明光的输出强度以及上述第二发光器的照明光的输出强度进行控制，以使在从上述第一侧面至上述第二侧面为止的观测区域内，由上述第一受光器和上述第二受光器接收的到达观察部位的光量成为固定值；以及计算装置，其预先存储与上述第一受光器和上述第二受光器的总受光量的积分值对应的上述缺陷的深度，算出上述第一受光器和上述第二受光器的总受光量的积分值，根据该积分值来算出上述缺陷的深度。