[发明专利]一种高性能定向导热铜基金刚石复合材料及其制备方法有效
| 申请号: | 201110169998.4 | 申请日: | 2011-06-22 | 
| 公开(公告)号: | CN102244051A | 公开(公告)日: | 2011-11-16 | 
| 发明(设计)人: | 魏秋平;余志明;刘学璋;尹登峰 | 申请(专利权)人: | 中南大学 | 
| 主分类号: | H01L23/373 | 分类号: | H01L23/373;C23C16/27 | 
| 代理公司: | 长沙市融智专利事务所 43114 | 代理人: | 邓建辉 | 
| 地址: | 410083 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 性能 定向 导热 基金 刚石 复合材料 及其 制备 方法 | ||
1.一种高性能定向导热铜基金刚石复合材料,包括铜基体,其特征在于:在所述的铜基体上同向平行分布有若干金刚石棒,所述的金刚石棒的直径为0.5~10mm,所述的金刚石棒的间距为0.5~50mm。
2.根据权利要求1所述的高性能定向导热铜基金刚石复合材料,其特征在于:所述的金刚石棒采用矩阵排列。
3.根据权利要求1或2所述的高性能定向导热铜基金刚石复合材料,其特征在于:所述的金刚石棒的中心轴向设有线性芯,所述的线性芯的直径为0.1~30mm,所述的线性芯选用丝状或棒状的铜、钨、钼或钛。
4.一种高性能定向导热铜基金刚石复合材料的制备方法,在铜基体上同向平行分布有若干金刚石棒,金刚石棒的直径为0.5~10mm,金刚石棒的间距为0.5~50mm,其特征在于:包括以下步骤:
(1)、以厚度为0.1~30mm铜板作为基体,在铜基体上钻一系列相互平行的柱状通孔,通孔直径为0.5~10mm;
(2)、采用化学气相沉积技术在柱状通孔中沉积高质量金刚石,使金刚石填充所有柱状通孔,形成金刚石棒阵列。
5.根据权利要求4所述的高性能定向导热铜基金刚石复合材料的制备方法,其特征在于:在采用化学气相沉积金刚石棒之前,将铜基体置于微细金刚石粉的丙酮悬浊液中,进行超声波震荡种植籽晶预处理。
6.一种高性能定向导热铜基金刚石复合材料的制备方法,在铜基体上同向平行分布有若干金刚石棒,所述的金刚石棒的中心轴向设有线性芯,其特征在于:包括以下步骤:
(1)、以直径为0.1~30mm的丝状或棒状的铜、钨、钼或钛材料作为线性芯,采用化学气相沉积技术在线性芯表面生长连续的厚度为0.25~5mm的金刚石膜,从而得到圆柱状有芯金刚石棒;
(2)、以厚度为0.1~100mm铜板作为基体,在铜基体上钻一系列间距为0.5~50mm的平行柱状通孔,柱状通孔直径与金刚石棒相匹配;
(3)、将金刚石棒插入铜基体的柱状通孔中,并通过挤压使铜基体发生塑性变形,从而使铜与金刚石棒完全接触耦合。
7.根据权利要求6所述的高性能定向导热铜基金刚石复合材料的制备方法,其特征在于:在采用化学气相沉积金刚石棒之前,将铜基体置于微细金刚石粉的丙酮悬浊液中,进行超声波震荡种植籽晶预处理。
8.一种高性能定向导热铜基金刚石复合材料的制备方法,在铜基体上同向平行分布有若干金刚石棒,所述的金刚石棒的中心轴向设有线性芯,其特征在于:包括以下步骤:
(1)、以直径为0.1~30mm丝状或棒状的铜、钨、钼或钛作为线性芯,采用化学气相沉积技术在线性芯表面生长连续的厚度为0.25~5mm的金刚石膜,从而得到圆柱状有芯金刚石棒;
(2)、以厚度为0.0001~1mm薄铜片或铜箔作为基体,在铜基体上钻一系列的平行柱状通孔,孔洞直径与金刚石棒相匹配;
(3)、将金刚石棒插入铜基体的柱状通孔中,再通过电沉积技术在铜片沿金刚石棒方向沉积铜,使铜完全包覆金刚石棒,与金刚石完全接触耦合;
(4)、对铜基金刚石复合材料进行均匀化退火热处理,消除内部的气孔缺陷(热处理温度为300~900℃,热处理时间根据样品尺寸确定)。
9.根据权利要求8所述的高性能定向导热铜基金刚石复合材料的制备方法,其特征在于:在采用化学气相沉积金刚石棒之前,将铜基体置于微细金刚石粉的丙酮悬浊液中,进行超声波震荡种植籽晶预处理。
10.如权利要求8或9所述的定向导热铜基金刚石复合材料的制备方法,其特征在于:所述采用电沉积技术在铜片沿金刚石棒方向沉积铜时,采用单向沉积铜,或将铜片安放于金刚石棒中心,在铜片两侧沿金刚石棒方向双向沉积铜。
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