[发明专利]测量系统、方法和光刻设备

权利要求书

1.一种测量系统，配置成得出物体的位置量，所述位置量包括位置、速度和加速度中的至少一个，所述测量系统包括：

位置量传感器，配置成提供位置量测量信号；

位置量计算器，配置成根据所述位置量测量信号确定所述物体的位置量，

其中所述位置量计算器包括扭转估算器，所述扭转估算器配置成估算所述物体的扭转，所述位置量计算器配置成根据所估算的扭转来校正所述物体的已确定的位置量。

2.根据权利要求1所述的测量系统，其中所述位置量计算器包括带滤波器，所述扭转估算器设置在所述位置量计算器的平行路径中。

3.根据权利要求2所述的测量系统，其中所述带滤波器包括带阻滤波器，所述位置量计算器配置成在所述带阻滤波器之前从所述已确定的位置量减去由所述扭转估算器提供的经过扭转校正的位置量和在所述带阻滤波器之后添加由所述扭转估算器提供的经过扭转校正的位置量。

4.根据权利要求2所述的测量系统，其中所述带滤波器包括带通滤波器，所述带通滤波器和所述扭转估算器设置在所述位置量计算器的平行路径中。

5.根据权利要求3或4所述的测量系统，其中所述扭转估算器包括权重因子矩阵估算器，所述权重因子矩阵估算器配置成根据期望的力学模型传递函数和已测量的力学模型传递函数的商来确定权重因子矩阵，所述扭转估算器配置成由所述权重因子矩阵确定扭转估算器矩阵。

6.根据权利要求5所述的测量系统，其中所述扭转估算器配置成确定所述权重因子矩阵在所述扭转的频带中的实部的均值，所述扭转估算器配置成根据所述权重因子矩阵的实部均值来确定所述扭转估算器矩阵。

7.根据权利要求5或6所述的测量系统，其中所述扭转估算器配置成根据单位矩阵和所述权重因子矩阵相减来确定所述扭转估算器矩阵。

8.根据前述权利要求中任一项所述的测量系统，其中所述位置量传感器配置成测量所述物体的竖直位置量。

9.根据前述权利要求中任一项所述的测量系统，其中所述测量系统包括至少4个位置量传感器。

10.一种光刻设备，包括：

照射系统，配置成调节辐射束；

支撑件，构造成支撑图案形成装置，所述图案形成装置能够在辐射束的横截面中将图案赋予辐射束，以形成图案化的辐射束；

衬底台，构造成保持衬底；

投影系统，配置成将所述图案化的辐射束投影到所述衬底的目标部分上，和

根据前述权利要求中任一项所述的测量系统，配置成测量所述支撑件、所述衬底台和所述投影系统中的投影透镜元件中的一个的位置量。

11.一种位置量测量方法，用于得出物体的位置量，所述位置量包括位置、速度和加速度中的至少一个，所述测量方法包括步骤：

通过位置量传感器提供位置量测量信号；

通过扭转估算器估算所述物体的扭转；

通过位置量计算器根据所述位置量测量信号来确定所述物体的位置量；和

根据所估算的扭转来校正所述物体的已确定的位置量。

12.根据权利要求11所述的位置量测量方法，其中将带滤波器施加在所述位置量计算器的平行路径中。

13.根据权利要求12所述的位置量测量方法，其中所述带滤波器包括带阻滤波器，所述方法包括：在所述带阻滤波器之前减去由所述扭转估算器提供的经过扭转校正的位置量和在所述带阻滤波器之后添加由所述扭转估算器提供的经过扭转校正的位置量。

14.根据权利要求12所述的位置量测量方法，其中所述带滤波器包括带通滤波器，所述带通滤波器和所述扭转估算器设置在所述位置量计算器的平行路径中。

15.根据权利要求10-14中任一项所述的位置量测量方法，其中权重因子矩阵由期望的力学模型传递函数和所测量的力学模型传递函数的商来确定，扭转估算器矩阵由所述权重因子矩阵在所述扭转的频带中的实部的均值来确定。