[发明专利]用于多个基板的固持器和具有该固持器的腔室

权利要求书

1.一种腔室，其包括：

下腔室；

用于覆盖所述下腔室的腔室盖；

主基板固持器，提供于所述下腔室的下部部分的内部；

复数个次基板固持器，提供于所述主基板固持器上以分别固定复数个基板；

复数个喷嘴，设置于所述腔室盖内并分别环绕各个所述次基板固持器，以注射气帘气体以将所述次基板固持器彼此分隔开。

2.根据权利要求1所述的腔室，进一步包括提供于位于所述主基板固持器上的所述次基板固持器之间的空间中的分隔物。

3.根据权利要求1所述的腔室，进一步包括设置于所述主基板固持器中环绕各个所述次基板固持器的复数个喷嘴，以注射气帘气体以将所述次基板固持器彼此分隔开。

4.根据权利要求2所述的腔室，进一步包括在所述主基板固持器中沿所述分隔物的形状形成的复数个喷嘴，以注射气帘气体以将所述次基板固持器彼此分隔开。

5.根据权利要求4所述的腔室，进一步包括在所述腔室盖中沿所述分隔物的形状形成的复数个喷嘴，以注射气帘气体以将所述次基板固持器彼此分隔开。

6.根据权利要求2所述的腔室，进一步包括在所述腔室盖中沿所述分隔物的形状形成的复数个喷嘴，以注射气帘气体以将所述次基板固持器彼此分隔开。

7.一种腔室，其包括：

下腔室；

用于覆盖所述下腔室的腔室盖；

主基板固持器，提供于所述下腔室的下部部分的内部；

复数个次基板固持器，提供于所述主基板固持器上以分别固定复数个基板；

分隔物，提供于位于所述主基板固持器上的所述次基板固持器之间的空间中；

复数个喷嘴，沿所述分隔物的形状设置于所述腔室盖中，以注射气帘气体以将所述次基板固持器彼此分隔开。

8.如权利要求2或7所述的腔室，其中所述分隔物形成在高度上比所述下腔室的壁低。

9.如权利要求1或7所述的腔室，进一步包括提供于所述主基板固持器上且环绕各个次基板固持器的通气孔。

10.根据权利要求9所述的腔室，进一步包括环绕所述通气孔形成的复数个喷嘴，以注射气帘气体以将所述次基板固持器彼此分隔开。

11.根据权利要求10所述的腔室，其中所述通气孔被形成为比所述喷嘴更靠近所述次基板固持器。

12.根据权利要求1或7所述的腔室，进一步包括安装至所述腔室盖以向所述次基板固持器注射处理气体的注射器。

13.根据权利要求2或7所述的腔室，进一步包括提供于所述分隔物的上部部分与所述腔室盖之间的密封件。

14.根据权利要求7所述的腔室，进一步包括在所述主基板固持器中沿所述分隔物的形状形成的复数个喷嘴，以注射气帘气体以将所述次基板固持器彼此分隔开。

15.根据权利要求7或14所述的腔室，进一步包括设置于所述主基板固持器中环绕各个所述次基板固持器的复数个喷嘴，以注射气帘气体以将所述次基板固持器彼此分隔开。