[发明专利]一种腔内掩埋金属加热电极的可调谐光学滤波器无效
| 申请号： | 201110165778.4 | 申请日： | 2011-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN102213844A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 黄辉;渠波 | 申请（专利权）人： | 黄辉;渠波 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116024 辽宁省大连市甘*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩埋 金属 加热 电极 调谐 光学 滤波器 | ||
【权利要求书】：
1.一种腔内掩埋金属加热电极的可调谐光学滤波器，其特征在于：将金属加热电极掩埋在Fabry-Perot(FP)谐振腔内进行加热调谐。
2.权利要求1所述的金属加热电极，通过外部施加电压或电流产生热量，从而改变谐振腔内材料的折射率，实现谐振腔的谐振波长改变。
3.权利要求1和2所述的金属加热电极为圆形、椭圆形或多边形的环形结构。
4.权利要求3所述的环形结构，通过对生长的金属薄膜经过光刻、刻蚀而成。
5.权利要求4所述的金属薄膜材料，优选Pt、Cr、Au、Ti、Ni、Al、W和Pt-Cr-Au-Ti材料。
6.权利要求1所述的FP谐振腔，由两个或两个以上的介质膜布拉格反射镜构成。
7.权利要求6所述的反射镜材料，优选自Si/SiO2、Si/SiNX和GaAs/AlGaAs。
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