[发明专利]碱可溶性树脂及其制作方法、感光性树脂组合物、光刻胶

权利要求书

1.一种碱可溶性树脂，其特征在于，在碱可溶性树脂的分子结构中包含有酚醛环氧丙烯酸酯结构。

2.根据权利要求2所述的碱可溶性树脂，其特征在于，酚醛环氧丙烯酸酯结构在碱可溶性树脂分子结构中的摩尔百分比为0.5～60％。

3.一种碱可溶性树脂的制作方法，包括使反应物发生共聚合反应步骤，其特征在于，参与共聚合反应的所述反应物包括不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物，以生成具有酚醛环氧丙烯酸酯结构的碱可溶性树脂。

4.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物含有通式(1)或通式(2)所示结构单元，

通式(1)中，R为-H或-CH₃，m为1～5；

通式(2)中，n为5～100。

5.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

将热聚合引发剂，分子量调节剂，芳香族乙烯，不饱和羧酸和/或不饱和酸酐以及溶剂均匀混合；

在氮气气氛下升温使所述芳香族乙烯、所述不饱和羧酸和/或不饱和酸酐发生聚合反应，从而生成直连聚合物；

加入不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物，使所述不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与所述直连聚合物发生聚合反应，生成具有酚醛环氧丙烯酸酯结构的聚合物；

将所述具有酚醛环氧丙烯酸酯结构的聚合物分离，从而获得碱可溶性树脂。

6.根据权利要求5所述的制作方法，其特征在于，加入0.01～3重量份的热聚合引发剂，0.1～5重量份的分子量调节剂，3～30重量份的芳香族乙烯，3～30重量份的不饱和羧酸和/或不饱和酸酐，30～90重量份的溶剂，0.5～5重量份的不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物。

7.根据权利要求5所述的制作方法，其特征在于，所述芳香族乙烯、所述不饱和羧酸和/或不饱和酸酐是在50～90℃的温度下聚合反应1～5小时；所述不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与所述直连聚合物是在100～150℃的温度下聚合反应2～10小时。

8.根据权利要求5所述的制作方法，其特征在于，在所述不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与所述直连聚合物发生聚合反应结束前的1～3小时，加入0.01～0.1重量份的热聚合抑制剂。

9.一种感光性树脂组合物，包括碱可溶性树脂，其特征在于，所述碱可溶性树脂采用权利要求1或2所述碱可溶性树脂。

10.根据权利要求9所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱可溶树脂在感光性树脂组合物中的重量百分含量为5～30％。

11.根据权利要求10所述的感光性树脂组合物，其特征在于，还包括：0.5～25％(重量)的感光性树脂或单体，0.1～5％(重量)的光起始剂，40～85％(重量)的溶剂。

12.根据权利要求11所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述感光性树脂或单体为含乙烯基或环氧基团的感光性树脂或单体。

13.根据权利要求12所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述含乙烯基或环氧基团的感光性树脂或单体为单官能或多官能的丙烯酸酯、环氧丙烯酸酯、聚氨酯丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯或丙烯酸酯化丙烯酸酯。

14.根据权利要求11所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述光起始剂为苯甲酰，苯甲酰基甲醚，苯甲酰基乙醚，苯甲酰基异丙醚，苯甲酰基异丁醚，2，4，6-三甲基苯甲酰二苯膦氧化物，2，2’-二(o-氯苯)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-联咪唑、2-乙基蒽醌，联苯酰，莰醌，苯基乙醛酸甲酯，4-羟基苯二甲基锍p-甲苯磺酸盐，三苯锍六氟锑酸盐，二苯碘鎓六氟锑酸盐，苯甲酰甲苯磺酸酯，2-羟基-2-甲基-1-苯丙基-1-酮，二乙氧基乙酰苯酚，2-甲基-2-吗啉代-1-(4-甲基苯硫基)，2-羟基-2-甲基-1-[4-(甲基乙稀)苯基]丙基-1-酮，2，4-二(三氯甲烷基)-6-(四-甲氧基苯)-1，3，5-三嗪，2，4-二(三氯甲基)-6-胡椒基1，3，5-三嗪，2，4-二(三氯甲烷)-6-[2-(5-甲基呋喃)-乙烯基]-1，3，5三嗪，2-苯基苄-2-二甲基胺-1-(4-吗啉苄苯基)丁酮中的一种或两种以上的组合。