[发明专利]有轨台车系统

说明书

技术领域

本发明涉及台车系统，特别涉及在从顶棚吹出下降气流的洁净室内配置的有轨台车系统。

背景技术

以往已知一种有轨台车系统(例如参照专利文献1)，在从顶棚吹出下降气流的洁净室内输送玻璃基板等物品的输送台车在轨道上行驶。在洁净室内，通过从顶棚吹出的下降气流来防止物品的污染。在以往的配置在洁净室内的有轨台车系统中，由盖包围轨道的周围，其中设置扇形过滤机构，将有可能在轨道上产生的尘埃去除。

专利文献1：日本特开2000-269296号公报

在上述以往的结构中，能够去除在轨道上产生的尘埃。最近，在液晶玻璃基板等的大型基板中，不是将基板等的物品密封在货箱(cassette)内输送，而是用开放的货箱输送基板。像这样，在用开放的货箱输送物品的情况下，若仅是去除轨道周围的尘埃，则根据周围的环境，物品有可能在输送中被污染。

发明内容

本发明的课题是在有轨台车系统中尽可能地防止在洁净室内输送的物品的污染。

以下，作为用于解决课题的手段，说明多个实施方式。这些实施方式根据需要能够任意组合。

有关本发明的有轨台车系统是在具有从顶棚吹出洁净空气的下降气流的吹出口的洁净室内配置的系统。有轨台车系统具备轨道、输送台车、底盖、侧方盖以及排出口。轨道在洁净室内从顶棚悬挂。输送台车能够沿着轨道行驶而输送物品。底盖覆盖轨道的底部。侧方盖覆盖轨道及输送台车的侧方。从吹出口向由底盖、侧方盖和顶棚包围的空间吹出下降气流。排出口设置在底盖及侧方盖中的至少某一个上，排出从吹出口导入的下降气流。

在该有轨台车系统中，输送台车在由顶棚、底盖和侧方盖包围的空间内行驶而输送物品。从吹出口向该空间吹出下降气流。吹出的下降气流从排出口排出。

这里，由于从顶棚对作为尘埃产生原因的行驶的输送台车喷吹下降气流，所以即使在输送台车上将物品露出地配置，在物品上也不易附着尘埃。因此，能够尽可能地防止在洁净室内输送的物品的污染。

也可以是，还具备：内侧盖，在上述侧方盖的内侧覆盖轨道的周围；以及扇形过滤机构，吸引内侧盖内的空气。由此，将最有可能产生灰尘的车轮与轨道的接触部分用内侧盖覆盖，将被覆盖的空间的空气用扇形过滤机构吸引，从而能够去除所产生的尘埃。因此，在车轮与轨道之间产生的尘埃不易向物品侧吹出，能够进一步防止物品的污染。

也可以是，内侧盖具有在轨道的两侧配置了一对的第1盖及第2盖，输送台车具备具有比第1盖与第2盖的间隔大的宽度的隔壁部。由此，形成由隔壁部和内侧盖限定的空间，能够辅助基于扇形过滤机构的吸引而使尘埃的流出减少。

也可以是，排出口设置在侧方盖的下部。由此，容易防止物体从空间内掉落。

发明效果

根据本发明，由于从顶棚向作为尘埃产生原因的行驶的输送台车喷吹下降气流，所以即使在输送台车上将物品露出地配置，在物品上也不易附着尘埃。因此，能够尽可能地防止在洁净室内输送的物品的污染。

附图说明

图1是本发明的第1实施方式的有轨台车系统的俯视图。

图2是轨道的周围的截面图。

图3是输送台车的侧视图。

图4是轨道的周围的放大截面图。

图5是侧方盖的侧视图。

图6是在第2实施方式中相当于第1实施方式的图2的截面图。

图7是在第2实施方式中相当于第1实施方式的图5的截面图。

图8是另一实施方式的侧方盖的相当于图4的侧视图。

符号说明

1有轨台车系统

2轨道

4输送台车

5底盖

6侧方盖

7吹出口

8排出口

9内侧盖

10扇形过滤机构

11行驶轨道

11a第1行驶轨道

11b第2行驶轨道

12行驶引导部

12a第1行驶引导部

12b第2行驶引导部

13顶棚

14行驶空间

15载置部

15a第1安装部

15b第2安装部

15c隔壁部

16行驶部

16a驱动行驶部

16b从动行驶部

17非接触供电线

17a辫编线

17b辫编线

20a驱动框架

20b从动框架

21a左驱动轮

21b右驱动轮