[发明专利]阴极电弧的磁场调节装置无效
| 申请号： | 201110160393.9 | 申请日： | 2011-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102226269A | 公开（公告）日： | 2011-10-26 |
| 发明（设计）人： | 赵红艳;钱涛 | 申请（专利权）人： | 星弧涂层科技（苏州工业园区）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陆明耀;陈忠辉 |
| 地址： | 215022 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阴极 电弧 磁场 调节 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种阴极电弧的磁场调节装置，包括一阴极底座，所述阴极底座的上表面开设有上凹槽，所述上凹槽内固定连接有一阴极电弧靶，其特征在于：所述阴极底座的下表面开设有与所述上凹槽对应的下凹槽，所述下凹槽内放置有一磁铁，所述磁铁固定连接在一升降支架上。
2.根据权利要求1所述的阴极电弧的磁场调节装置，其特征在于：所述升降支架通过螺栓连接在所述阴极底座的下表面上，所述升降支架与阴极底座之间通过旋紧或旋松螺栓实现相对所述阴极底座的上下移动。
3.根据权利要求2所述的阴极电弧的磁场调节装置，其特征在于：所述螺栓上带有长度的刻度标识。
4.根据权利要求3所述的阴极电弧的磁场调节装置，其特征在于：所述刻度标识的最小单元为0.5mm。
5.根据权利要求1所述的阴极电弧的磁场调节装置，其特征在于：所述上凹槽与所述阴极电弧靶之间通过螺纹固定连接。
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