[发明专利]一种声学扫描显微镜用夹具及其用于产品批量检测的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种声学扫描显微镜用的辅助夹具及其应用于声学扫描显微镜进行产品批量检测的方法。

背景技术

声学扫描显分析，又名声学扫描显微镜，常被人简称为C-SAM，是一种利用远场声波在物质传播的不同特性，用逐点扫描的办法探测物质内部结构，最后形成图像。它是无损检测的重要手段，在对样品没有任何破坏的情况下，对分析集成电路塑封器件内部分层、开裂等缺陷非常有效。在整个检测分析过程中，做一次样品一般需要半小时以上来调试设备参数，调好了参数后，十分钟可以完成对样品的扫描工作，即使在样品相同的情况下，由于换样时摆放位置发生了变化，同样需要相同的时间来调试设备参数。所以在批量扫描时，耗费了大量的时间从而大大降低了工作效率。由于目前还没有针对批量扫描的检测方法，因此如何设计一种提高工作效率并保证检测结果的方法值的研究。

发明内容

为了解决现有声学扫描显微镜在扫描同批次大批量产品时时间耗费严重、工作效率低下的问题，本发明提供以下技术方案：

一种声学扫描显微镜用夹具，包括主板和定位板，所述主板具有长方体结构，在所述主板的一角开设有定位角，所述定位角为直角，且所述定位角的两边分别平行于所述主板的两边；所述定位板具有长方体结构，在所述定位板的上表面固定安装有定位框，所述定位框具有“L”形结构，且所述定位框的两边分别平行于所述定位板的两边；所述定位板的一角贴合于所述主板的定位角。

作为本发明的一种优选方案，所述主板和所述定位板的材质均为有机玻璃。

一种使用声学扫描显微镜用夹具进行产品批量检测的方法，包括以下步骤：

A、将主板固定于设备的检测槽中；

B、在定位板上产品放置位置整齐排放多行产品，通过所述定位框进行定位，使得每次排放的产品位置一致；

C、将放置好多行产品的定位板放置于设备的检测槽中，且所述定位板的一个直角贴合于所述主板的定位角，使得两个直角完全重合；

D、调节好声学扫描显微镜的参数，进行扫描；

E、扫描完一批产品，将定位板取出，按照步骤C放入装有未扫描过的产品的另一个定位板继续进行扫描；

F、重复步骤E，直到产品全部扫描完成。

本发明带来的有益效果是：

1、本声学扫描显微镜夹具结构简单，使用方便，耐磨损，使用寿命长，适用范围广；

2、本声学扫描显微镜夹具定位准确，提高了产品摆放位置的一致性，省去了声学扫描显微镜因产品位置不同而需要进行多次参数调节的麻烦；

3、本产品批量检测方法通过使用声学扫描显微镜夹具，增加了单次扫描的量，同时减少了多次扫描之间的时间浪费，极大地提高了扫描效率。

附图说明

图1本发明夹具组合结构示意图；

图2本发明夹具主板俯视图；

图3本发明夹具定位板俯视图；

图4本发明夹具定位板主视图。

图中标号为：

1-主板    11-定位角    2-定位板

21-定位框

具体实施方式

下面对该工艺实施例作详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围作出更为清楚明确的界定。

如图2本发明夹具主板俯视图所示，主板1具有长方体结构，在主板1的一角开设有直角结构的定位角11，定位角11的两边分别平行于主板1的两边，以方便定位板2的一个直角与其贴合定位。

如图3本发明夹具定位板俯视图和图4本发明夹具定位板主视图所示，定位板2具有长方体结构，在定位板2的上表面固定安装有“L”形定位框21，定位框21的两边分别平行于定位板2的两边。这样，当产品紧靠定位框21排列时保持一定的平行度和整齐性。

如图1本发明夹具组合示意图所示，定位板2的左上角正好贴合于主板1的定位角11，两个直角完全重合，使得排列于定位板2上的产品以定位角11的位置为基准点每次排列于同一位置。