[发明专利]基板处理装置及其控制系统、收集单元、以及控制方法

权利要求书

1.一种基板处理装置的控制系统，其特征在于，

具有从构成基板处理装置的各部件收集数据的收集单元，

上述收集单元至少具有临时存储收集到的数据的缓存器，

还具有根据附加在上述数据上的时刻数据来按时序重新排列上述数据的机构。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置的控制系统，其特征在于，

上述收集单元在上述数据于预定期间内未被存储到上述缓存器内的情况下，将只有上述时刻数据的空数据存储到上述缓存器内。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置的控制系统，其特征在于，

具有对在各部件中生成的数据进行收集的操作部，

上述收集单元按照由上述操作部发送的数据上附加的时刻数据的顺序，将上述数据存储到上述缓存器内。

4.根据权利要求1所述的基板处理装置的控制系统，其特征在于，具有：

操作部，其收集在各部件中生成的数据；和

控制部，其通过执行用于对基板施加预定的基板处理的文件来使上述基板处理装置的各部件工作而进行控制，

上述收集单元在接收到由上述各部件生成的数据时，根据在上述操作部和上述控制部中被分别附加的时刻数据，将由上述操作部发送的上述数据按上述时刻数据的顺序存储到上述缓存器内。

5.根据权利要求4所述的基板处理装置的控制系统，其特征在于，

上述控制部具有：控制针对上述基板的预定基板处理的第一控制部；和控制针对上述基板的预定的输送处理的第二控制部，

上述收集单元根据在上述第一控制部和上述第二控制部中被分别附加的时刻数据，按照上述时刻数据的顺序将由上述操作部发送的上述数据存储到上述缓存器内。

6.根据权利要求4所述的基板处理装置的控制系统，其特征在于，

对存储在上述缓存器内的数据进行保持的能力由最大延迟时间来决定，该最大延迟时间为从在上述控制部中收集数据开始至将该数据发送到上述收集单元为止的时间。

7.根据权利要求1至权利要求6中任一项所述的基板处理装置的控制系统，其特征在于，

存储在上述缓存器内的数据是包含各种控制数据的装置监视数据、事件数据、例外数据。

8.一种收集单元，从各部件收集数据，其特征在于，

具有临时存储上述数据的缓存器，

在将上述数据存储到上述缓存器内时，根据附加在上述数据上的时刻数据来按时序重新排列上述数据。

9.一种基板处理装置，具有从各部件收集数据的收集单元，其特征在于，

上述收集单元具有临时存储上述数据的缓存器，

在将上述数据存储到上述缓存器内时，根据附加在上述数据上的时刻数据来按时序重新排列上述数据。

10.一种基板处理装置的控制方法，该基板处理装置具有从各部件收集数据的收集单元，该控制方法的特征在于，

上述收集单元具有临时存储上述数据的缓存器，

当将上述数据存储到上述缓存器内时，根据附加在上述数据上的时刻数据来按时序重新排列上述数据。