[发明专利]一种微流量高压液化气体的恒压恒流量注入装置

权利要求书

1.一种微流量高压液化气体的恒压恒流量注入装置，包括气体增压液化部分(2)和气体输出部分(4)，其特征是：气体增压液化部分(2)和气体输出部分(4)之间设置压力流量控制部分(3)与压力流量反馈部分；所述的气体增压液化部分(2)包含气体增压泵(22)；所述的压力流量控制部分(3)由直线往复运动机构(11)、双作用缸(12)以及组成桥路的四个电磁阀(13，15，17，19)、四个单向阀(14，16，18，20)组成，直线往复运动机构(11)的往复运动带动双作用缸(12)的活塞杆进行精密直线运动，与双作用缸(12)与四个电磁阀(13，15，17，19)、四个单向阀(14，16，18，20)往复切换配合，进行气体连续输出控制；所述的压力流量反馈部分由三个压力传感器组成，用于实现五级反馈，分别是设置在气体增压泵(22)输出端、作为第一级压力反馈的第一级压力传感器(7)，设置在压力流量控制部分(3)输出端、作为第二级压力反馈的第二级压力传感器(8)，设置在气体输出部分(4)输出端、作为第三级压力反馈的第三级压力传感器(9)，所述的第一级压力传感器(7)与第二级压力传感器(8)组合形成用于调节气体压力平衡的第四级压力反馈，所述的第二级压力传感器(8)与第三级压力传感器(9)组合形成用于调节气体压力流量的第五级压力反馈。

2.根据权利要求1所述的一种微流量高压液化气体的恒压恒流量注入装置，其特征是：所述的直线往复运动机构(11)包括伺服电机、行星减速机、微型丝杠和限位开关。

3.根据权利要求1所述的一种微流量高压液化气体的恒压恒流量注入装置，其特征是：所述的气体输出部分(4)由不锈钢螺旋形管组成。

4.根据权利要求1所述的一种微流量高压液化气体的恒压恒流量注入装置，其特征是：所述的直线往复运动机构(11)的直线运动精密误差小于10um，直线运动速度由电机调节，电机速度范围为0～3000rpm。

5.根据权利要求1所述的一种微流量高压液化气体的恒压恒流量注入装置，其特征是：所述的气体增压泵(22)的输出压力为0～32MPa。

6.根据权利要求1所述的一种微流量高压液化气体的恒压恒流量注入装置，其特征是：所述的气体增压泵(22)采用空气压缩机(21)的压缩空气作为驱动，空气压缩机(21)的输出压力为0～0.8MPa。

7.根据权利要求1所述的一种微流量高压液化气体的恒压恒流量注入装置，其特征是：所述的压力控制范围为0～32MPa，流量控制范围为0～100mL。

8.根据权利要求1所述的一种微流量高压液化气体的恒压恒流量注入装置，其特征是：所述的行星减速机的减速比为30∶1～80∶1。

9.根据权利要求1所述的一种微流量高压液化气体的恒压恒流量注入装置，其特征是：所述的微型丝杠的螺距小于或等于2mm。

10.根据权利要求1所述的一种微流量高压液化气体的恒压恒流量注入装置，其特征是：所述的双作用缸(12)的有效面积小于或等于5平方厘米。