[发明专利]一种化学气相渗透增密用多料柱式工业炉

权利要求书

1.一种化学气相渗透增密用多料柱式工业炉，包括炉盖、炉体和炉座，所述炉体、炉盖采用不锈钢水冷外壳，其特征在于；所述炉盖和炉体可分离也可连接为一体，在所述炉盖-炉体中固定于炉体安置有保温罩，由此组成钟罩式结构而整体坐装在所述炉座上；在所述炉座内，安置有刚性不锈钢质大支承台，该支承台上安置有由上部带有盖子、底部带有环形料柱座的圆筒状马弗护墙构成的三个或六个相互独立且垂直站立的料柱室，三个或六个料柱室沿园周均布，其中轴线分别与园心位于炉体中轴线的同一水平园周相交，且均匀分布在保温罩之内；在所述炉座和大支承台下部所围成的底部空间内于底座内壁上方安置有不锈钢质小支承台，该支承台上安置有三相发热体中线石墨质底板，三根或六根立杆式发热体的外筒下端头紧固在该中线底板上；所述三根或六根立杆式发热体分别穿过大支承台台面板和各料柱座的中心孔进入料柱室，处于所述各料柱室的中轴线上；在所述六个独立的料柱室所围成的中部空间还设有一个相同结构的料柱室；所述每一个料柱室侧壁上分别设有布气环；安置于小支承台上的三相立杆式发热体与大支承台和料柱室之间通过插入耐热绝缘陶瓷构件或设置空隙实现电气绝缘。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相渗透增密用多料柱式工业炉，其特征在于：在所述炉体上设有与所述每一个料柱室联通的测温通道，在所述炉体及所述炉底座上设有与所述每一个料柱室联通的反应气进气通道。

3.根据权利要求2所述的一种化学气相渗透增密用多料柱式工业炉，其特征在于：所述三根立杆式发热体采用三相Y型连接；所述六根立杆式发热体则先将相邻两立杆式发热体并联后再采用三相Y型连接。

4.根据权利要求3所述的一种化学气相渗透增密用多料柱式工业炉，其特征在于：所述立杆式发热体由外套筒和芯杆在外套筒和芯杆顶部互相串连而构成，所述外套筒与芯杆皆由炭/炭复合材料或细颗粒石墨材料制成，外套筒与芯杆间间距为15～20mm；所述芯杆的电阻占所述立杆式发热体总电阻的60-70％；所述外套筒的电阻占所述立杆式发热体总电阻的40-30％。

5.根据权利要求4所述的一种化学气相渗透增密用多料柱式工业炉，其特征在于：所述三根立杆式发热体或六根立杆式发热体的外套筒固定在炉座底部的同一中线底板上；所述三根立杆式发热体的芯杆下端穿过小支承台台面板后分别与设置于所述炉座底部的水冷铜电极连接，所述六根立杆式发热体的芯杆下端穿过小支承台台面板后相邻两两配对先分别与三个电极板相连接，电极板再分别与三个水冷铜电极相连接。

6.根据权利要求5所述的一种化学气相渗透增密用多料柱式工业炉，其特征在于：所述每一个料柱室的上端均设有出气通道管，该通道管与安置于所述炉盖内壁顶部低温区的集气罩直接联通，该集气罩则与所述炉盖上部总出气管直接联通。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的一种化学气相渗透增密用多料柱式工业炉，其特征在于：在所述每一个料柱室侧壁上设置的布气环内壁开有沿所述料柱室内表面切向均匀分布的供气孔。