[发明专利]一种硅单晶炉的热场系统

权利要求书

1.一种硅单晶炉的热场系统，包括设置在保温筒中的加热器（1），石墨坩埚（2），坩埚（2）底部有埚托（14）支撑，埚托（14）底部装有托杆轴（15），该托杆轴（16）经保温筒底部伸出；在坩埚（2）顶部设有导流筒（4），导流筒（4）上开口与保温筒顶部开口对应；在筒形保温层顶部还设有保温盖，其特征在于，所述保温筒分为相互匹配并连接在一起的上保温筒（5）、中保温筒（6）和下保温筒（7），对应上、中、下保温筒的外侧分别包裹有上保温层（11）、中保温层（12）和下保温层（13）；所述保温盖分为两层，分别为上保温盖（9）和下保温盖（10）。

2.根据专利要求1所述的硅单晶炉的热场系统，其特征在于导流筒为两层，分别为内导流筒（3）和外导流筒（4）。

3.根据权利要求1所述的硅单晶炉的热场系统，其特征在于，在上保温盖外侧与单晶炉炉腔内壁之间的空隙设有保温挡圈（8）。

4.根据权利要求1或2所述的硅单晶炉的热场系统，其特征在于，在保温筒底部对应托杆轴（16）伸出部位设有托杆护套（17）。

5.根据权利要求1或2所述的硅单晶炉的热场系统，其特征在于，在保温筒底部设有石墨电极（20）及其电极护套（21），并由电极螺丝（22）经石墨电极（20）中间穿过并拧紧在保温筒底部，在电极螺丝（22）顶部装有电极螺丝盖（23）。