[发明专利]电容器及其制作方法无效
| 申请号： | 201110146513.X | 申请日： | 2011-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN102760775A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 苏国辉;陈逸男;刘献文 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/92 | 分类号： | H01L29/92;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 中国台湾桃园县龟山*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容器 及其 制作方法 | ||
1.一种电容器，包括：
一第一电极，配置于一基底上；
一第一金属层，配置于该第一电极上；
一介电层，配置于该第一金属层上，其特征在于该第一金属层的材料不会与该介电层的材料产生反应；以及
一第二电极，配置于该介电层上。
2.根据权利要求1所述的电容器，其特征在于该第一金属层的材料为氮化钨。
3.根据权利要求1所述的电容器，其特征在于该第一金属层的厚度介于50··至150··之间。
4.根据权利要求1所述的电容器，其特征还包括一第二金属层，配置于该介电层与该第二电极之间，且该第二金属层的材料不会与该介电层的材料产生反应。
5.根据权利要求4所述的电容器，其特征在于该第二金属层的材料为氮化钨。
6.根据权利要求4所述的电容器，其特征在于该第二金属层的厚度介于50··至150··之间。
7.一种电容器的制作方法，包括：
于一基底上形成一第一电极；
于该第一电极上形成一第一金属层；
于该第一金属层上形成一介电层，其特征在于该第一金属层的材料不会与该介电层的材料产生反应；以及
于该介电层上形成一第二电极。
8.根据权利要求7所述的电容器的制作方法，其特征在于该第一金属层的材料为氮化钨。
9.根据权利要求7所述的电容器的制作方法，其特征在于该第一金属层的厚度介于50··至150··之间。
10.根据权利要求7所述的电容器的制作方法，其特征在于形成该介电层之后以及在形成该第二电极之前，还包括于该介电层上形成一第二金属层，且该第二金属层的材料不会与该介电层的材料产生反应。
11.根据权利要求10所述的电容器的制作方法，其特征在于该第二金属层的材料为氮化钨。
12.根据权利要求10所述的电容器的制作方法，其特征在于该第二金属层的厚度介于50··至150··之间。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南亚科技股份有限公司，未经南亚科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110146513.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：喷墨记录墨组、喷墨记录方法和记录物质
- 下一篇：集中供热用户自动控制装置
- 同类专利
- 专利分类
