[发明专利]多晶硅还原炉硅芯夹持装置无效
| 申请号： | 201110144906.7 | 申请日： | 2011-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN102219217A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 张维;王岭;刘勇;周华丽 | 申请（专利权）人： | 四川新光硅业科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 刘雪莲;林辉轮 |
| 地址： | 614000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 炉硅芯 夹持 装置 | ||
1.一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置，包括卡瓣、盖子和底座，卡瓣的中心设有垂直的圆孔，卡瓣通过盖子安装在底座上，盖子通过螺纹与底座连接，其特征在于：所述卡瓣包括上部的圆锥台和下部的圆柱体，所述圆柱体的直径大于圆锥台底面的直径。
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置，其特征在于：卡瓣中心设置的圆孔与圆锥台及圆柱体同轴心。
3.根据权利要求2所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置，其特征在于：所述卡瓣的圆锥台部分设有垂直的十字形切口，十字形切口的中心线与圆孔的轴心重合。
4.根据权利要求3所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置，其特征在于：所述十字形切口的宽度为1.5-3mm。
5.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置，其特征在于：所述盖子为石墨盖子。
6.根据权利要求5所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置，其特征在于：所述石墨盖子为高纯石墨等静压成型制得。
7.根据权利要求5或6所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置，其特征在于：所述石墨盖子的直径为110-130mm。
8.根据权利要求5或6所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置，其特征在于：所述石墨盖子的高度为60-80mm。
9.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置，其特征在于：所述座子为石墨座子。
10.根据权利要求9所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置，其特征在于：所述石墨座子为高纯石墨等静压成型制得。
11.根据权利要求9或10所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置，其特征在于：所述石墨座子的直径为75-85mm。
12.根据权利要求9或10所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置，其特征在于：高度为60-80mm。
13.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置，其特征在于：所述卡瓣为石墨卡瓣。
14.根据权利要求13所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置，其特征在于：所述石墨卡瓣的圆锥台部分和圆柱体部分是一整体。
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