[发明专利]狭缝式多气体输运喷头结构

权利要求书

1.一种狭缝式多气体输运喷头结构，包括喷头（1），其特征在于：所述喷头（1）上设有若干进气管道（10）、若干辅助气路管道（20）、第一匀气孔板（30）、第二匀气孔板（40）及导流板（50），所述进气管道（10）管壁与辅助气路管道（20）空间连通，所述第一匀气孔板（30）外侧设有若干相互平行的进气管道（10），所述第一匀气孔板（30）横切相交进气管道（10），所述第一匀气孔板（30）内侧下面设有平行的第二匀气孔板（40），第一匀气孔板（30）上与进气管道（10）横切相交处开设有第一气孔（31），所述第二匀气孔板（40）上开设有若干第二气孔（41），第一匀气孔板（30）内侧相邻进气管道（10）之间设有与进气管道（10）平行的导流板（50），所述导流板（50）连接第一匀气孔板（30）及第二匀气孔板（40）后向下延伸。

2.根据权利要求1所述的狭缝式多气体输运喷头结构，其特征在于：所述第二气孔（41）分布比第一气孔（31）密集。

3.根据权利要求1所述的狭缝式多气体输运喷头结构，其特征在于：所述喷头（1）置于导流壁（2）上，所述导流壁（2）之间设有支撑底座（3），所述支撑底座（3）上设置有基座（4），所述喷头（1）、导流壁（2）及基座（4）共同围成一反应空间（5）。

4.根据权利要求4所述的狭缝式多气体输运喷头结构，其特征在于：所述基座（4）中部凸设有三角突起（41）。

5.根据权利要求4所述的狭缝式多气体输运喷头结构，其特征在于：所述喷头（1）、导流壁（2）及支撑底座（3）的材质为石英；基座（4）的材质为石墨、碳化硅、石英或有碳化硅涂层的石墨。

6.根据权利要求4所述的狭缝式多气体输运喷头结构，其特征在于：所述导流板（50）延伸向反应空间（5）内，从而在基座（4）的上部形成若干分割区（61）。

7.根据权利要求7所述的狭缝式多气体输运喷头结构，其特征在于：所述分割区（61）的气路依次设置为Ⅲ族源气体、隔离气体、Ⅴ族源气体。

8.根据权利要求1所述的狭缝式多气体输运喷头结构，其特征在于：所述进气管道（10）与辅助气路管道（20）成一定角度设置。