[发明专利]腹膜透析置管术用导丝/隧道针表面硬质防护膜制备方法

权利要求书

1.一种腹膜透析置管术用导丝/隧道针表面硬质防护膜制备方法，其特征在于，采用磁控溅射或电弧离子镀沉积装置，选择高纯Ti靶材以及高纯Ar和N₂作为工作气体，在腹膜透析置管术用导丝或隧道针表面沉积TiN、Ti+TiN单层防护膜或Ti+TiN多层防护膜，其中所述的Ti+TiN多层防护膜为底层纯Ti相，中间为TiN相和Ti相混合且TiN相沿厚度方向梯度增加，最外层为纯TiN相的梯度膜；或一层Ti膜一层TiN膜交替排列的多层膜，最外层为TiN膜。

2.按照权利要求1所述的腹膜透析置管术用导丝/隧道针表面硬质防护膜制备方法，其特征在于：制备TiN、Ti+TiN单层防护膜，保持真空室内气体总压强为0.03～1.5Pa，控制并固定工作气体中Ar和N₂的分压比在0～2.0；其中，制备Ti+TiN单层防护膜时，控制Ar和N₂的分压比在0.5～2.0，所获得防护膜成分由TiN相和Ti相均匀混合组成。

3.按照权利要求1所述的腹膜透析置管术用导丝/隧道针表面硬质防护膜制备方法，其特征在于：制备Ti+TiN梯度防护膜，保持真空室内气体总压强为0.03～2.0Pa，在总压强不变的情况下动态调节工作气体中Ar和N₂的分压比，最初仅通入真空室Ar，然后通入N₂并逐渐增加N₂分压及减小Ar分压，N₂分压增加速率为0.015～3.0Pa/小时，直至最终工作气体仅为N₂；通过改变两种气体分压的变化速率控制梯度膜中TiN相的梯度。

4.按照权利要求1所述的腹膜透析置管术用导丝/隧道针表面硬质防护膜制备方法，其特征在于：制备一层Ti膜一层TiN膜交替排列的多层防护膜，保持真空室内气体总压强为0.03～2.0Pa，最初仅通入真空室Ar，沉积Ti膜15～180秒，之后关掉Ar仅通入N₂，沉积TiN膜15～240秒，然后再关掉N₂仅通入Ar沉积Ti膜15～180秒，如此交替进行；通过控制每次通入Ar和N₂的时间决定多层膜中单层Ti膜和TiN膜的厚度；最终关掉Ar通入N₂沉积最外层TiN膜时间为60～900秒。

5.按照权利要求1所述的腹膜透析置管术用导丝/隧道针表面硬质防护膜制备方法，其特征在于，沉积防护膜之前或/和过程中，对导丝或隧道针加热，加热温度控制在0～400℃。

6.按照权利要求1所述的腹膜透析置管术用导丝/隧道针表面硬质防护膜制备方法，其特征在于：所述磁控溅射装置为中频或射频磁控溅射装置，所配备的中频或射频电源功率为200～4000W。

7.按照权利要求1～4任意一项所述的腹膜透析置管术用导丝/隧道针表面硬质防护膜制备方法，其特征在于：采用磁控溅射制备TiN、Ti+TiN单层防护膜或Ti+TiN多层防护膜前待镀膜导丝/隧道针在真空室内经过辉光清洗3-6分钟；辉光清洗时真空室内Ar压强为0.3～3.0Pa，电源电流0.5～2.0A，电源电压400～1000V；制备过程中电源电流为2.0～6.0A，电压控制在300～450V。

8.按照权利要求1～4任意一项所述的腹膜透析置管术用导丝/隧道针表面硬质防护膜制备方法，其特征在于：采用电弧离子镀制备TiN、Ti+TiN单层防护膜或Ti+TiN多层防护膜前待镀膜导丝/隧道针在真空室内经过偏压为-600～-1000V的辉光清洗3～6分钟、弧光清洗2～5分钟；辉光清洗时真空室内Ar压强为1.0～4.0Pa；弧光清洗时真空室内Ar压强为0.3～0.8Pa，电源电流和电压分别为55～75A和16～22V；制备过程中电源电流为45～65A，电压控制在16～22V。

9.按权利要求1所述的腹膜透析置管术用导丝/隧道针表面硬质防护膜制备方法，其特征在于，腹膜透析置管术用导丝/隧道针的材料选自铜、铜合金、钛、钛合金、或不锈钢。

10.按权利要求1所述的腹膜透析置管术用导丝/隧道针表面硬质防护膜制备方法，其特征在于，表面硬质防护膜的厚度为0.6～6.0μm。