[发明专利]离子源电极的清洗方法有效
| 申请号： | 201110137140.X | 申请日： | 2011-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN102376513A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 松本武 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J37/08;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子源 电极 清洗 方法 | ||
1.一种离子源电极的清洗方法，所述电极构成所述离子源的引出电极系统，所述离子源包括：等离子体生成部，被导入可电离气体，使所述可电离气体电离从而生成等离子体；以及所述引出电极系统，通过电场的作用，从所述等离子体生成部内的所述等离子体引出离子束，并至少包括从最靠近所述等离子体一侧起沿所述离子束的引出方向设置的第一电极以及第二电极，其特征在于，
代替将所述可电离气体导入所述等离子体生成部并引出所述离子束，至少将清洗用气体提供到构成所述引出电极系统的所述第一电极与所述第二电极之间，在将所述第一电极和所述第二电极之间的气压保持在高于所述离子束引出时的气压的状态下，在所述第一电极和所述第二电极之间施加电压，使所述第一电极和所述第二电极之间产生所述清洗用气体的辉光放电。
2.根据权利要求1所述的离子源电极的清洗方法，其特征在于，产生所述辉光放电的电压是以离子束引出方向一侧的电极为负极侧的直流电压。
3.根据权利要求1所述的离子源电极的清洗方法，其特征在于，产生所述辉光放电的电压为交流电压。
4.一种离子源电极的清洗方法，所述电极构成所述离子源的引出电极系统，所述离子源包括：等离子体生成部，被导入可电离气体，使所述可电离气体电离从而生成等离子体；以及所述引出电极系统，通过电场的作用，从所述等离子体生成部内的所述等离子体引出离子束，并至少包括从最靠近所述等离子体一侧起沿所述离子束的引出方向设置的第一电极、第二电极以及第三电极，其特征在于，
代替将所述可电离气体导入所述等离子体生成部并引出所述离子束，至少将清洗用气体提供到构成所述引出电极系统的所述第二电极与所述第三电极之间，在将所述第二电极和所述第三电极之间的气压保持在高于所述离子束引出时的气压的状态下，在所述第二电极和所述第三电极之间施加电压，使所述第二电极和所述第三电极之间产生所述清洗用气体的辉光放电。
5.根据权利要求4所述的离子源电极的清洗方法，其特征在于，产生所述辉光放电的电压是以离子束引出方向一侧的电极为负极侧的直流电压。
6.根据权利要求4所述的离子源电极的清洗方法，其特征在于，产生所述辉光放电的电压为交流电压。
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