[发明专利]多台钛泵的并联驱动电路

说明书

技术领域

本发明涉及电子技术领域，具体是一种多台钛泵的并联驱动电路。

背景技术

钛泵是由许多厚为0.1～0.3mm、直径为12～40mm的不锈钢薄壁圆筒构成钛泵阳极筒，以及在阳极的两端厚为1～3mm的钛阴极构成。钛泵阳极筒的轴线与钛阴极的表面垂直，二者之间加3～7KV的电压，钛泵阳极筒的轴向加1000～3000高斯的均匀磁场。钛泵阳极筒中运动的电子，有轴向速度分量和径向速度分量，钛泵阳极筒内的电子会受到洛仑兹力作用和电场力作用，其运动为轴向的直线运动和横截面上的轮滚线运动。使电子运动轨迹大大延长，电子与中性气体分子的碰撞几率增大，提高了电离效率，使得在很低的气压下也能发生放电。上述现象称为潘宁放电。气体分子和旋转的电子碰撞而被电离成气体离子，该气体离子在电场的作用下，飞向并轰击钛阴极，产生两种作用：1、溅射钛原子，形成钛膜；2、打出二次电子。上述过程中，溅射出来的钛原子，淀积在钛泵阳极筒的内壁和钛阴极的表面上，形成新鲜的钛膜维持钛泵的抽气能力。气体离子的溅射能力随着入射的该气体离子的能量、质量和入射角的不同而不同，能量大、质量大的气体离子的溅射能力也大。为了保证钛泵阳极筒上的钛膜的吸气能力，必须保证足够的溅射率，即要求有足够的电压，以保证气体离子得到足够的轰击能量。通过该气体离子轰击，可打出二次电子，二次电子受电磁场作用进入旋转电子云里，补充失去的电子。每个气体分子被电离的同时，都至少放出一个电子，这些电子也进入到旋转电子云里，它们和二次电子一起补偿因跑到阳极上而损失的电子，从而能不断地维持潘宁放电。

钛泵的电源一般是使用5KV倍压整流电源，负载电流大时，输出电压下降到几百伏。通常用流过钛泵正负极间的电流反映所抽空间的真空度。

现有技术中，一台钛泵需要一台钛泵电源。一台钛泵电源的外壳为一个3U机箱，因此在多台钛泵使用时，需要多个相适配的钛泵电源，多个钛泵电源进行工作造成成本的浪费，多个钛泵电源又需要占用很大的空间。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种多台钛泵的并联驱动电路，使多台钛泵只需要一个钛泵电源。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种多台钛泵的并联驱动电路，其包括：电源接入端和至少两个钛泵电源接入点，所述钛泵电源接入点连接钛泵电源接线端，所述电源接入端与每一个钛泵电源接入点之间串接有第一电阻或者所述钛泵电源接入点与钛泵电源接线端之间串接有第一电阻。

优选地，所述钛泵电源接入点还通过第二电容连接接地端。

优选地，所述每个钛泵电源接入点都通过分压电路连接第一运算放大器的正电压输入端；

所述第一运算放大器的负电压接入端通过第二电阻连接所述第一运算放大器的输出端，所述第一运算放大器的输出端为用于电流显示信号采样的第一采样点。

优选地，所述第一运算放大器的正电压输入端或者所述第一运算放大器的输出端为用于所述钛泵电压信号采样的第二采样点，用于所述钛泵电压信号采样的第二采样点通过相互并联的二极管连接在第二运算放大器的负电压输入端，所述第二运算放大器的负电压输入端为参考电压接入端，所述第二运算放大器的输出端输出钛泵电压调节反馈信号。

优选地，所述每个钛泵电源接入点都通过分压电路连接第一运算放大器的正电压输入端；具体包括：所述钛泵电源接入点与所述第一运算放大器的正电压接入端之间串接有第三电阻，所述第一运算放大器的正电压接入端还通过第四电阻连接接地端。

优选地，所述第一运算放大器的负电压接入端还通过第五电阻连接接地端。

优选地，所述第一运算放大器的输出端还分别通过第六电阻和第一电容连接接地端。

优选地，所述第五电阻与所述接地端之间还连接有第七电阻。

优选地，所述第一电阻的阻值为1M-10M欧姆，所述第二电阻的阻值为10-1M欧姆。

优选地，所述第三电阻与所述第四电阻的阻值比为(100-10000)∶1。

优选地，所述第七电阻为电位器。

实施本发明的技术方案，具有以下有益效果：本发明提供的多台钛泵的并联驱动电路，使钛泵电源的高压输出端经电阻隔离分别对多台钛泵进行供电，钛泵电源输出的功率大大减小，实现了一台钛泵电源稳定的供应多台钛泵的功能。另外，由该驱动电路中通过采样电路采样各台钛泵的电流信号，经具有高输入阻抗的运算放大器放大该电流信号，送至比较电路，再反馈给钛泵电源，实现钛泵电源的电压调节，使钛泵得到的电压更加稳定。

附图说明