[发明专利]一种多晶硅铸锭炉热场及多晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉热场，包括保温隔热笼体，所述保温隔热笼体上部的保温隔热顶板和底部的保温隔热底板，置于所述保温隔热笼体内部的带坩埚的热交换台和加热器，其特征在于，所述保温隔热顶板设置有进气孔和出气孔，所述多晶硅铸锭炉热场还包括设置在所述坩埚顶部的用于遮盖所述坩埚的遮挡盖板，所述遮挡盖板上设置有进气孔和出气孔，且所述遮挡盖板的出气孔与所述保温隔热顶板的出气孔之间通过封闭的排气通道相连接。

2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉热场，其特征在于，所述遮挡盖板的进气孔与所述保温隔热顶板的进气孔之间通过封闭的排气通道相连接。

3.如权利要求2所述的多晶硅铸锭炉热场，其特征在于，所述保温隔热顶板设置的进气孔和出气孔包括一个或者多个，所述遮挡盖板开设的进气孔和出气孔的数量对应于所述保温隔热顶板的进气孔和出气孔数量。

4.如权利要求3所述的多晶硅铸锭炉热场，其特征在于，所述排气通道为由石墨管，或者碳化硅管，或者氧化铝管构成的用于供气体流通的封闭的通道。

5.如权利要求4所述的多晶硅铸锭炉热场，其特征在于，

所述遮挡盖板包括一个进气孔，所述进气孔开设在所述遮挡盖板的中心位置；

所述遮挡盖板的出气孔包括四个，分别设置在所述遮挡盖板的四个角上，或者所述遮挡盖板的出气孔包括八个，分别设置在所述遮挡盖板的四个角上和四条边的中间位置。

6.如权利要求5所述的多晶硅铸锭炉热场，其特征在于，所述遮挡盖板为碳碳盖板或者石墨盖板。

7.一种多晶硅铸锭炉，其特征在于，包括如权利要求1至6任一项所述的多晶硅铸锭炉热场。

8.如权利要求7所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，还包括与所述保温隔热顶板的出气孔相连接的，延伸至所述多晶硅铸锭炉外部的封闭的排气通道，其用于将该保温隔热顶板的出气孔排出的气体排出到所述多晶硅铸锭炉之外。