[发明专利]光连接构造和该光连接构造用的光波导路的制法

说明书

技术领域

本发明涉及能无需调芯就连接光纤和光波导路的光连接构造和该光连接构造用的光波导路的制法。

背景技术

一般而言，在将光信号传送比较长距离的光通讯等中使用光纤，在对这些光纤之间进行连接、传送比较近距离的信号中使用光波导路。以往，作为简便地(所谓“无需调芯”)调整这些光纤和光波导路之间的光轴而使这些光纤和光波导路耦合的光连接构造，在形成有光波导路的基板上与光波导路芯同轴线上地设有光纤固定用的槽，将光纤嵌合在该固定用槽中而对其定位，并进行固定。

该光纤固定用的槽设于光波导路的长度方向一端部(没有芯的部分且在芯的延长线上)，通常形成为其一端向光波导路的长度方向一端面开口(连通)的、截面呈V字状或呈U字状等的长槽形状。

此外，作为上述光纤固定用槽的形成方法，例如公开有以下的方法等，即，一种是通过蚀刻、压花、切削等机械加工，预先在作为用于形成光波导路的底层的基板上形成槽(专利文献1、2)，还有一种是利用切割、激光等将形成在基板上的光波导路的端部连同芯一起切除，在形成槽的同时使芯的端部(端面)暴露(专利文献3)。

专利文献1：日本特开平8-313756号公报

专利文献2：日本特开2001-350051号公报

专利文献3：日本特开2000-105324号公报

可是，如上述那样的、在用于形成光波导路的底层基板上预先形成光纤固定用槽的构造中，因为蚀刻、机械加工等加工精度的极限，所以存在槽的尺寸/位置精度低这样的问题。此外，因为在形成槽以后在基板上另外形成光波导路，所以难以对上述光纤固定用槽和光波导路芯进行对位，也有时还需要切断该光波导路的端面而使芯的端部暴露的加工，这些加工误差逐渐地累加，结果，有时光纤(芯)和光波导路的芯的光轴不会精密地对齐。

此外，利用切割等将形成在上述基板上的光波导路的端部连同芯一起切除而形成槽的构造中，也与上述相同，因为机械加工等加工精度的极限，所以槽的尺寸/位置精度低。而且，在利用激光等形成槽的情况下，与上述机械加工相比加工精度高，但也存在以下的缺点，即，由于激光等的加热会产生光波导路的性能降低，而且加工后残留有残渣。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而提出的，其目的在于，提供能够简单且自动地使光纤和光波导路芯之间的光轴对齐的光连接构造和高效且高尺寸精度地制造用于该光连接构造的光波导路的方法。

为了达成上述的目的，本发明的第1技术方案是一种光连接构造，该光连接构造由光波导路和光纤构成，该光波导路包括：芯，其用于传播光；下包层，其设于该芯的下侧；上包层，其以覆盖上述芯的状态设置，为了在上述光波导路的芯与上述光纤之间互相传播光信号，将上述光纤固定在上述光波导路的长度方向一端上，在上述光波导路的上述上包层的长度方向一端部部分上具有延伸设置部，上述延伸设置部具有光纤固定用槽和边界壁，该光纤固定用槽在上述芯的延长线上与上述芯同轴线地延伸，且该光纤固定用槽的一端部朝向上述延伸设置部的一端侧端面开口，该光纤固定用槽的另一端部封闭；该边界壁设于上述芯和上述光纤固定用槽的封闭的另一端部之间，上述光纤以其光轴隔着上述边界壁与上述光波导路的芯的光轴对齐的状态固定嵌合在上述光纤固定用槽中。

此外，本发明的第2技术方案是技术方案1记载的光连接构造中所用的光波导路的制法，上述光波导路包括芯、下包层和在长度方向一端部部分具有延伸设置部的上包层，上述延伸设置部设有在上述芯的延长线上与上述芯同轴线延伸的光纤固定用槽，该光纤固定用槽的一端部朝向上述延伸设置部的一端侧端面开口，该光纤固定用槽的另一端部被封闭，而且，上述延伸设置部在上述芯和上述光纤固定用槽的封闭的另一端部之间还设有边界壁，上述光波导路的制法包括：形成上述下包层的工序；在上述下包层之上形成上述芯的工序；以覆盖上述下包层和上述芯的方式涂敷上包层形成用感光性树脂，形成包括从上述芯的一端部到该芯的长度方向外侧的延伸设置部形成用感光性树脂层在内的上包层形成用感光性树脂层的工序；隔着光掩模对上述上包层形成用感光性树脂层照射照射线而进行曝光的工序；对上述上包层形成用感光性树脂层进行显影的工序，由此，在形成包括上述延伸设置部在内的上述上包层的同时，以在上述光纤固定用槽的上述封闭端部和上述芯之间存在有上述边界壁的方式，在上述延伸设置部上形成上述光纤固定用槽。