[发明专利]一种液晶玻璃面板的蚀刻方法无效
申请号: | 201110129100.0 | 申请日: | 2011-05-18 |
公开(公告)号: | CN102219387A | 公开(公告)日: | 2011-10-19 |
发明(设计)人: | 尹爀俊;朴景龙;李寿馝 | 申请(专利权)人: | 上海易殖电子技术有限公司 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00 |
代理公司: | 上海欣创专利商标事务所 31217 | 代理人: | 顾大平 |
地址: | 201500 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 液晶 玻璃 面板 蚀刻 方法 | ||
技术领域
本发明涉及液晶显示技术领域,尤其涉及一种液晶玻璃面板的蚀刻方法。
背景技术
液晶玻璃面板广泛作为手机,电脑,电视等产品的显示部件,应用越来越广。液晶玻璃面板须经过蚀刻工艺,形成阵列基板,在经过进一步的制作,方可作为手机,电脑,电视等产品的显示部件。目前,液晶玻璃面板的蚀刻技术,主要有湿式蚀刻和干式蚀刻。湿式蚀刻就是利用特定的溶液与薄膜间所进行的化学反应来去除薄膜未被光阻覆盖的部分,而达到蚀刻的目的,其过程可分为三个步骤:第一,化学蚀刻液扩散至待蚀刻材料之表面;第二,蚀刻液与待蚀刻材料发生化学反应;第三,反应后之产物从蚀刻材料之表面扩散至溶液中,并随溶液排出。
对于这三个步骤中的第一个步骤,即如何使化学蚀刻液扩散至待蚀刻材料之表面,现有技术主要有如下几种:方法一,竖立起一张液晶玻璃面板,两面喷射化学蚀刻液。方法二,同时竖立几张液晶玻璃面板,在每张液晶玻璃面板上方有一个喷射口,从上向下喷射化学蚀刻液。方法三,同时固定竖立几张液晶玻璃面板,每张液晶玻璃面板上有一个喷射口,从上到下流下化学蚀刻液。方法一,其每次只能蚀刻一张液晶玻璃面板,效率低下。方法二,蚀刻效率有所提高,但蚀刻质量差。因为蚀刻液是从液晶玻璃面板的上方向下喷射,故液晶玻璃面板上方和下方被喷射的力度不一致,蚀刻后液晶玻璃面板上下方的厚度不均匀,导致液晶玻璃面板便面凹凸不平现象的发生,及蚀刻液蒸发产生烟雾引起液晶玻璃面板上出现斑点。方法三,每张液晶玻璃面板的上方必须正确对应喷射口的中心位置,但实际中总有偏差,因而液晶玻璃面板两半蚀刻厚度不一致,产生凹凸不平的现象。
发明内容
鉴于上述现有技术中用化学蚀刻液蚀刻液晶玻璃面板出现的问题,或者是生产效率低下,或者是液晶玻璃面板蚀刻的厚度不均匀,或者是喷射时蚀刻液蒸发易在液晶玻璃面板上形成斑点。
本发明所欲解决的技术问题是,提供一种液晶玻璃面板的蚀刻方法,第一,提高生产效率,第二,使液晶玻璃面板蚀刻厚度均匀,第三,液晶玻璃面板表面不因蚀刻液蒸发而形成斑点。
为达到以上目的,本发明是通过如下技术方案实现的:一种液晶玻璃面板的蚀刻方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)注液:把化学蚀刻液注进蚀刻容器内;
(2)导入液晶玻璃面板:将一组液晶玻璃面板竖立固定在一托盘上,该托盘放置在导入托架上,导入托架活动安装于蚀刻容器内,导入托架向下运动,使液晶玻璃面板被化学蚀刻液完全浸没;
(3)蚀刻:导入的一组液晶玻璃面板,经安装在蚀刻容器内的传送带传送到导出托架上,在此过程中化学蚀刻液对液晶玻璃面板表面进行蚀刻处理;
(4)导出液晶玻璃面板;导出托架向上运动将位于其上的液晶玻璃面板顶出化学蚀刻液,然后取出蚀刻完毕的液晶玻璃面板。
所述的注入的化学蚀刻液温度为20℃以上。
在所述的步骤二完成之后,可重复步骤二,导入第二组液晶玻璃面板,依次循环步骤三,步骤四,步骤二。
为了有效节约原材料,蚀刻液经使用后,送到另一容器内进行再生处理,去除玻璃粉末杂质,再补充蚀刻液,使蚀刻液达到原始浓度,再注入到蚀刻容器内。
通过以上技术方案,本发明能达到以下技术效果:生产效率提高,液晶玻璃面板表面蚀刻厚度均匀,并且液晶玻璃面板表面无斑点,从而产品的蚀刻质量得到保证。
附图说明
图1 本发明所涉一种液晶玻璃面板的蚀刻方法的工作示意图。
具体实施方式
以下结合图1对本发明的具体实施方式作详细描述。
首先,取一定浓度的化学蚀刻液,温度为20℃以上,注入到蚀刻容器1内,其深度足以将液晶玻璃面板2浸没,然后将一组液晶玻璃面板2竖立固定在一托盘3上,该托盘放置在导入托架4上,导入托架活动安装于蚀刻容器1内,每快液晶玻璃面板之间隔有一定空隙,以使药水能在其中流动即可。导入托架4向下运动使液晶玻璃面板完全浸入化学蚀刻液5中,然后该组液晶玻璃面板在安装在蚀刻容器内的传送带6上向前移动,进行蚀刻。当按规定的速度运动到传送带的另一端的导出托架7上时,该导出托架向上运动,将蚀刻好的液晶玻璃面板顶出化学蚀刻液,然后将蚀刻好的液晶玻璃面板取出即可,在第一组液晶面板被送入蚀刻容器内进行蚀刻后,可接着在导入托架上放入第二组液晶玻璃面板,以送入蚀刻容器内进行蚀刻,如此循环往复,显示液晶玻璃面板的批量化蚀刻,以提高生产效率。
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