[发明专利]用于刻蚀触摸屏上不可视区域导电薄膜的装置及其方法

权利要求书

1.用于刻蚀触摸屏上不可视区域导电薄膜的装置，其特征在于：高频率短脉冲激光器(1)的输出端布置有光闸(2)，光闸(2)的输出端设置有扩束镜(3)，扩束镜(3)的输出端依次布置有45度全反射镜(4)，45度全反射镜(4)的输出端依次布置有动态聚焦镜(5)和扫描场镜(6)，扫描场镜(6)正对于工作平台(10)，所述工作平台(10)的一侧安装有吹气装置(7)，所述工作平台(10)的另一侧安装有集尘装置(9)。

2.根据权利要求1所述的用于刻蚀触摸屏上不可视区域导电薄膜的装置，其特征在于：所述高频率短脉冲激光器(1)是波长为266nm～1064nm、脉宽在100ps～50ns、频率在10KHz～200KHz的激光器。

3.利用权利要求1所述装置用于刻蚀触摸屏上不可视区域导电薄膜的方法，其特征在于：高频率短脉冲激光器(1)发出的激光经光闸(2)控制开关光，光闸(2)控制激光光束后经过扩束镜(3)对光束进行同轴扩束，改善光束传播的发散角使光路准直，扩束后的光束到达45度全反射镜(4)，光路垂直改向，继而到达动态聚焦镜(5)和振镜(6)，扫描图形转化为数字信号，图形转化在工作平台(10)上的加工材料(8)上，蚀刻产生的粉尘由吹气装置(7)产生气流，由集尘装置(9)吸气收集粉尘。