[发明专利]一种利用保护层形成光电元件的方法无效
| 申请号: | 201110122840.1 | 申请日: | 2011-05-13 |
| 公开(公告)号: | CN102779951A | 公开(公告)日: | 2012-11-14 |
| 发明(设计)人: | 费金华 | 申请(专利权)人: | 吴江华诚复合材料科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;G03F7/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215200 江苏省吴江市经济开发*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 利用 保护层 形成 光电 元件 方法 | ||
【权利要求书】:
1.一种利用保护层形成光电元件的方法,至少包含:提供一基板;涂布一第一电激发光材料於该基板表面上成为一第一发光层;形成一第一保护层於该第一发光层上;进行第一图样制程,形成一第一光阻层於该第一保护层上,形成一第一光罩,藉以在该第一光阻层上定义出所需图样,曝光除去部份该第一光阻层,留存一其余的该第一光阻层;除去部分之该第一保护层,系无该第一光阻层所遮蔽;蚀刻该第一发光层;去除该其余的该第一光阻层,且该第一发光层仍受该第一保护层保护。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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