[发明专利]处理装置、处理系统以及坐标校正方法

权利要求书

1.一种处理装置，该处理装置根据存储有载置台上载置的基板中的处理对象的坐标的制程来对上述基板中的上述处理对象执行规定处理，上述处理装置的特征在于，具备：

实际坐标确定单元，其确定上述载置台上载置的上述基板中的上述处理对象的实际坐标；以及

实际坐标登记单元，其将通过上述实际坐标确定单元确定出的上述实际坐标登记到上述制程中。

2.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，

上述制程登记有上述处理对象在上述基板中的设计坐标，

上述实际坐标登记单元将上述实际坐标与上述设计坐标之差登记到上述制程中，由此将上述实际坐标登记到该制程中。

3.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，

还具备通信部，该通信部向网络发送通过上述实际坐标登记单元登记有上述实际坐标的上述制程。

4.一种处理系统，其特征在于，具备：

处理装置，其根据存储有载置台上载置的基板中的处理对象的坐标的制程来对上述基板中的上述处理对象执行规定处理；以及

网络，其与多个上述处理装置相连接，

其中，上述处理装置具有：

实际坐标确定单元，其确定上述载置台上载置的上述基板中的上述处理对象的实际坐标；

实际坐标登记单元，其将通过上述实际坐标确定单元确定出的上述实际坐标登记到上述制程中；以及

通信部，其向网络发送通过上述实际坐标登记单元登记有上述实际坐标的上述制程。

5.一种坐标校正方法，该坐标校正方法用于校正制程中所登记的处理对象在载置台上载置的基板上的坐标，其中，使用上述制程来对上述基板中的上述处理对象执行规定处理，上述坐标校正方法的特征在于，包括：

实际坐标确定步骤，确定上述载置台上载置的上述基板中的上述处理对象的实际坐标；以及

实际坐标登记步骤，将通过上述实际坐标确定步骤确定出的上述实际坐标登记到上述制程中。