[发明专利]一种用于光伏生产的石英件的清洗方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种清洗方法，尤其涉及一种用于光伏生产的石英件的清洗方法。

背景技术

扩散炉是太阳电池生产过程中的关键设备之一，其用来对生产太阳电池的硅基板进行扩散工艺从而在硅基板表面形成P-N结，它的主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将惨杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便在半导体上建立起不同的电特性区域。扩散炉内的温度控制对扩散的质量有着重大影响，因此，在工艺过程中对扩散炉内温度有严格的要求。扩散时一般是将硅片先置于石英舟中，然后通过送片桨将装有硅片的石英舟送入扩散炉中进行扩散工艺。由于半导体工艺对扩散炉内的洁净度要求较高，所以在业界一般会在扩散炉内使用较多的石英件，而石英件长时间使用后表面会存在一些杂质，因此，有必要对扩散炉内的石英件定期进行清理。业界一般产用氯气对石英件进行清理，而氯气的毒性较强，在运输及存放的过程中万一泄露将对公众造成伤害，不利于安全生产。

因此有必要提供一种解决上述技术问题的石英件清洗方法。

发明内容

本发明所要解决的一个技术问题是：提供一种有利于安全生产的石英件清洗方法。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：一种用于光伏生产的石英件的清洗方法，其包括如下步骤：A）首先将炉内的温度调节到1150℃~1200℃；B）同时向扩散炉的炉腔内输入流量为25-50L/min的氮气、流量为0.5~2.5L/min的三氯氧磷及流量为0.8~3.4L/min的氧气，输入时间为120~300分钟，上述氮气、三氯氧磷、氧气从扩散炉的进口输入，途经石英件再从扩散炉的出口输出。

本发明的有益效果：通过上述方法清洗石英件，不但有利于安全生产，而且还可降低生产成本。

具体实施方式

一种用于光伏生产的石英件的清洗方法，其包括如下步骤：A）首先将炉内的温度调节到1150℃~1200℃；B）同时向扩散炉的炉腔内输入流量为25-50L/min的氮气、流量为0.5~2.5L/min的三氯氧磷及流量为0.8~3.4L/min的氧气，输入时间为120~300分钟，上述氮气、三氯氧磷、氧气从扩散炉的进口输入，途经石英件再从扩散炉的出口输出。所述三氯氧磷在高温环境下分解成五氯化磷和五氧化二磷，而五氯化磷与氧气反应形成五氧化二磷和氯气，因氯气具有强氧化性，因此该氯气可氧化石英件上的杂质，而因为氮气的流量较大，进而将石英件上的杂质从扩散炉的出口带出扩散炉的炉腔外，以达到清洗功能，另外，氮气在扩散炉的炉腔内还充当一种保护气体。本发明中直接产用氮气、三氯氧磷、氧气为原料，在运输及存放过程中比较安全，而且不必再以氯气为原料，降低了生产成本。