[发明专利]亚微米级定位精度并联调整平台及其调整方法

权利要求书

1.一种亚微米级定位精度并联调整平台，其特征在于：包括固定不动且呈水平向布设的定平台(1)、安装在定平台(1)上的六根可伸缩支杆、初始状态下呈水平向布设且在六根所述可伸缩支杆的带动下能在左右和前后两个方向上进行直线移动并能绕左右和前后两个方向进行转动的动平台(3)、对动平台(3)当前状态下所处位置以及其在水平面上绕左右和前后两个方向的转动角度进行测量的测量系统(4)、与测量系统(4)电连接的控制器(5)以及与控制器(5)相接的参数输入单元(11)，六根所述可伸缩支杆的上端部均通过球铰安装在动平台(3)上，且六根所述可伸缩支杆的下端部均通过虎克铰安装在定平台(1)上；六根所述可伸缩支杆的结构相同，所述可伸缩支杆包括安装于定平台(1)上的套筒、同轴套装在所述套筒内且能沿所述套筒的中轴线进行上下移动的伸缩杆和对所述伸缩杆进行驱动的驱动电机，所述驱动电机通过传动机构与所述伸缩杆进行连接，六根所述可伸缩支杆中的驱动电机均由控制器(5)进行控制；所述定平台(1)、六根所述可伸缩支杆和动平台(3)组成具有两个直线自由度和两个旋转运动自由度的四自由度并联机构；

六根所述可伸缩支杆的上端部在动平台(3)上的安装位置分别为安装点A₁、A₂、A₃、A₄、A₅和A₆，安装点A₁、A₂、A₃、A₄、A₅和A₆均沿逆时针方向布设在正六边形一上，所述正六边形一的六个顶点沿顺时针方向依次为顶点C₁、C₂、C₃、C₄、C₅和C₆且正六边形一的中心点为O₁；六根所述可伸缩支杆的下端部在定平台(1)上的安装位置分别为安装点B₁、B₂、B₃、B₄、B₅和B₆，安装点B₁、B₂、B₃、B₄、B₅和B₆均沿逆时针方向布设在正六边形二上，所述正六边形二的六个顶点沿顺时针方向依次为顶点D₁、D₂、D₃、D₄、D₅和D₆且正六边形二的中心点为O₂；所述正六边形二的边长大于所述正六边形一的边长，六根所述可伸缩支杆分别安装在安装点A₁与B₁之间、A₂与B₂之间、A₃与B₃之间、A₄与B₄之间、A₅与B₅之间以及A₆与B₆之间，安装点A₂和A₃对称布设在顶点C₃两侧，安装点A₄和A₅对称布设在顶点C₁两侧，安装点A₆和A₁对称布设在顶点C₅两侧，安装点B₁和B₂对称布设在顶点D₃两侧，安装点B₃和B₄对称布设在顶点D₁两侧，安装点B₅和B₆对称布设在顶点D₅两侧；且直线段A₂O₁和A₃O₁之间、A₄O₁和A₅O₁之间、A₆O₁和A₁O₁之间、B₁O₂和B₂O₂之间、B₃O₂和B₄O₂之间以及B₅O₂和B₆O₂之间的夹角均相同；

所述动平台(3)处于初始状态时，正六边形一位于正六边形二的正上方，且直线段O₁A₁位于直线段O₂B₆的正上方。