[发明专利]搬送装置和搬送方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种搬送装置(Transport Device)和利用这样的搬送装置的搬送方法(Transport Method)，该搬送装置设有搬送机构、姿势变更机构以及控制机构，其中，搬送机构具备送风式支撑机构和推进力赋予机构，送风式支撑机构向着搬送物的下面供给空气，以水平姿势或大致水平姿势并以非接触状态支撑搬送物，推进力赋予机构与由上述送风式支撑机构支撑的搬送物接触，对搬送物赋予搬送方向的推进力，姿势变更机构使由上述搬送机构搬送的搬送物围绕纵轴心旋转而变更搬送物的搬送姿势，控制机构控制上述搬送机构和上述姿势变更机构的工作。

背景技术

上述搬送装置由送风式支撑机构以非接触状态支撑搬送物，由推进力赋予机构以接触状态对搬送物赋予搬送方向的推进力，搬送搬送物。在搬送例如液晶监视器等的FPD用的玻璃基板以作为搬送物的情况下，由送风式支撑机构以非接触状态支撑以玻璃基板的搬送方向作为前后方向时的左右方向的中央部分，使推进力赋予机构相对于以搬送方向作为前后方向时的左右两端部而接触并赋予推进力，由此，一边保护玻璃基板的制品化的左右中央部分，一边进行搬送。

而且，在对搬送物进行加工等处理的处理装置之间搬送搬送物的情况下，如搬送物相对于搬送装置的授受姿势(即接收和交接时的姿势)在前工序的处理装置和后工序的处理装置不同时等那样，有时候有必要变更由搬送装置搬送的搬送物的搬送姿势。作为能够变更这样的搬送物的姿势的搬送装置的现有示例，存在着在搬送装置设有使由搬送机构搬送的搬送物围绕纵轴心旋转而变更搬送物的搬送姿势的姿势变更机构的示例(例如，参照专利文献1)。

在现有技术中，如专利文献1所记载，设定使搬送物旋转而变更搬送姿势的旋转位置，在旋转位置将吸附于搬送物的底面并保持搬送物的吸附部围绕纵轴心旋转自如地且升降自如地设置，构成姿势变更机构。而且，在使吸附部下降至下降位置的状态下，使搬送物搬送至旋转位置并停止，然后，使吸附部上升至上升位置，由吸附部吸附保持搬送物，在该状态下，使吸附部围绕纵轴心旋转设定角度，由此，使搬送物旋转而变更搬送姿势。然后，在搬送物的旋转完成之后，解除吸附部的吸附保持，并且，在使吸附部下降至下降位置后，立即重新开始搬送物的搬送。

专利文献1：日本特开2005-145651号公报

发明内容

在现有技术中，由于在使搬送物在搬送方向上停止于一定的旋转位置的状态下，由吸附部吸附保持搬送物，使搬送物旋转而变更姿势，因而如果欲缩短姿势变更所需要的时间而加快吸附部的旋转速度，那么，在旋转速度的加速时和减速时，在搬送物的旋转中心产生的惯性转矩比吸附部的吸附保持力更大，吸附部对搬送物的保持有可能脱落而不能控制搬送物的旋转。因此，有必要使吸附部以低速旋转，搬送物的姿势变更需要时间。另外，由于在由姿势变更机构使搬送物旋转的期间，搬送物依然停止在旋转位置，因而搬送机构对搬送物的沿着搬送方向的移动延误。如果这样地设置姿势变更机构而能够变更搬送物的姿势，那么，存在着作为搬送装置的搬送能力下降的问题。

本发明是鉴于上述实际情况而做出的，其目的在于，提供一种搬送装置，该搬送装置能够变更搬送物的姿势，同时，搬送能力高。

为了达成该目的，关于本发明的搬送装置，具备：搬送机构，具备送风式支撑机构和推进力赋予机构，其中，该送风式支撑机构向着搬送物的下面供给空气，以水平姿势或大致水平姿势并以非接触状态支撑搬送物，该推进力赋予机构对由所述送风式支撑机构支撑的搬送物赋予搬送方向的推进力；姿势变更机构，使由所述搬送机构搬送的搬送物围绕纵轴心而旋转，变更搬送物的搬送姿势；以及控制机构，控制所述搬送机构和所述姿势变更机构的工作，所述姿势变更机构具备保持部、旋转机构以及移动机构而构成，其中，该保持部通过对以非接触状态支撑的搬送物的平面视图中的多个端部进行卡合而自如地保持搬送物，该旋转机构使所述保持部围绕纵轴心而旋转，该移动机构使所述保持部沿着搬送方向移动，所述控制机构构成为，控制所述保持部的保持工作、所述移动机构的移动工作以及所述旋转机构的旋转工作，从而由所述保持部将以非接触状态支撑的状态的搬送物保持在保持位置，在由所述移动机构使所述保持部移动而将以非接触状态支撑的状态的搬送物沿着搬送方向从所述保持位置搬送至下游侧的保持解除位置的期间，一边由所述移动机构使所述保持部移动，一边由所述旋转机构使所述保持部旋转，使所保持的搬送物的搬送姿势围绕纵轴心而旋转规定角度，在所述保持解除位置解除搬送物的保持。