[发明专利]定子内嵌式电磁悬浮转子微马达

权利要求书

1.一种定子内嵌式电磁悬浮转子微马达，包括：转子以及转动设置于转子内的定子，其特征在于：

所述的转子包括：转子圆板和联结柱，其中：若干联结柱的两端分别与两块转子圆板垂直固定连接；

所述的定子包括：支撑柱、基体、基板以及具体有相同结构的上定子和下定子，其中：支撑柱位于转子的圆心且两端分别与下定子和基板固定连接，上定子和下定子分别固定联结于基体的上表面和下表面。

2.根据权利要求1所述的定子内嵌式电磁悬浮转子微马达，其特征是，所述的转子圆板由相同结构的转子上圆板和转子下圆板组成，其中：转子上圆板和转子下圆板与联结柱两端固定连接并构成盒形微转子，该盒形微转子在上定子和下定子的电磁力作用下稳定悬浮在定子的外缘。

3.根据权利要求1所述的定子内嵌式电磁悬浮转子微马达，其特征是，所述的上定子及下定子表面均设有双层稳定悬浮线圈、旋转线圈、信号引脚以及信号线，其中：双层稳定悬浮线圈、旋转线圈、信号引脚之间用绝缘介质填充，信号线的两端分别与双层稳定悬浮线圈及高频电流源相连。

4.根据权利要求1所述的定子内嵌式电磁悬浮转子微马达，其特征是，所述的上定子和下定子由下而上依次由线圈层、焊点层、层间连线层、互连层、层间介质层构成，其中：线圈层、焊点层、层间连线层以及互连层均为铜制成，层间介质层采用氧化硅，氧化铝，高分子聚合物制成，互连层分别与线圈层以及双层稳定悬浮线圈以及双层稳定悬浮线圈与焊点层相连，层间连线层完成层之间的电互连，层间介质层实现层之间的电绝缘。

5.一种制备如权利要求1至4中任一所述定子的半导体加工工艺，其特征在于，包括以下步骤：

步骤a)：加工用的基片经过清洗；

步骤b)：在基片上溅射Cr/Cu种子层；

步骤c)：光刻工艺，采用光刻胶对基片上的Cr/Cu种子层进行图形化；

步骤d)：电镀铜互连；

步骤e)：去光刻胶；

步骤f)：电镀层间互连，然后去掉暴露出来的Cr/Cu种子层；

步骤g)：溅射介电材料绝缘层，然后磨平；

步骤h)：采用与步骤b)-步骤e)相同的工艺过程完成线圈层的制作；

步骤i)：溅射介电材料绝缘层，然后将绝缘层磨平，完成上定子的制作；

步骤j)：采用双面光刻工艺制作下定子。